Газоразрядная плазма
Cтраница 3
В газоразрядной плазме все заряженные частицы находятся в ускоряющем электрическом поле, создающем разряд и дающем энергию для их хаотического движения. Число столкновений электронов с частицами газа, при которых электроны отдают большую часть энергии, весьма мало по сравнению с числом упругих столкновений, при которых электроны из-за их малой массы могут отдать лишь ничтожно малую часть своей энергии. Поэтому средняя кинетическая энергия нейтральных частиц газа очень мала по сравнению со средней кинетической энергией электронов. [31]
В газоразрядной плазме на заряженные частицы действуют кулоновские силы. [32]
В газоразрядной плазме нет термодинамического равновесия, что вызывает неустойчивость плазмы. Состояние газа в виде неизотермической плазмы поддерживается лишь за счет энергии проходящего через нее разрядного тока. При исчезновении внешнего электрического поля газоразрядная плазма быстро исчезает - происходит д е и о н и - зация газа. [33]
В газоразрядной плазме заряженные частицы, входящие в ее состав, непрерывно находятся в ускоряющем электрическом поле. Средней кинетической энергии электронов в газоразрядной плазме сопоставляется некоторая температура максвелловского распределения электронов по энергиям ( стр. Она имеет условный смысл, ибо в газоразрядной неизотермической плазме отсутствует термодинамическое равновесие. Средняя кинетическая энергия электронов в газоразрядной плазме значительно превышает среднюю энергию нейтральных частиц плазмы. [34]
 |
Линии равной концентрации при диффузии точечного возмущения в однородной неограниченной плаэме. Размеры области возмущения вдоль поля в 10 раз больше области возмущения поперек. [35] |
В простой газоразрядной плазме обычно существенна зависимость подвижности электронов от электрич. Скорость амбиполярного дрейфа v& характеризует распространение квазинейтральных возмущений концентрации ( волн плотности) плазмы. Большие возмущения ( как волны большой амплитуды) из-за нелинейной связи между концентрациями и скоростями потоков () деформируются и опрокидываются. Возникают области с резкими градиентами концентрации - скачки, аналогичные ударным волнам, - где существенна диффузия или нарушается квазинейтральность. Если же масштаб неоднородностей L Т / ( еЕ), то эволюция их и при наличии тока определяется лишь диффузией. [36]
В газоразрядной плазме скорости электронов распределены по закону Максвелла, соответствующему температуре Те, более высокой, чем температура атмосферного газа. Эта температура Те носит название электронной температуры и может достигать десятков тысяч градусов. [37]
Итак, газоразрядная плазма - это неравновесное или, как говорят, неизотермическое состояние вещества. [38]
Что представляет собой газоразрядная плазма. [39]
В этом смысле газоразрядная плазма термически неравновесна. [40]
Присутствие вблизи подложки газоразрядной плазмы, как правило, благоприятно сказывается на качестве формирующейся пленки и повышении ее адгезии к подложке. Так как подложка располагается вблизи области плазмы с равномерным распределением объемного заряда, то она подвергается воздействию электронов и положительных ионов плазмы. Вследствие большей подвижности электроны чаще попадают на подложку, в результате чего она приобретает небольшой отрицательный потенциал, наличие которого вызывает бомбардировку ее поверхности ионами плазмы. Такая бомбардировка способствует удалению с поверхности подложки ( и формирующейся пленки) слабо закрепленных на ней частиц, примесных газов ( ионная очистка), в результате улучшается состав и структура пленки и повышается ее адгезия к подложке. При ионном распылении осаждающиеся пленки становятся сплошными при меньших толщинах, чем при термовакуумном напылении. [41]
В случае свечения газоразрядной плазмы низкого давления проявляется хаотическое тепловое движение атомов. Из-за эффекта Доплера ( см. § 7.3) излучение каждого из них следует характеризовать своей частотой. [42]
Если воспользоваться излучением газоразрядной плазмы низкого давления, то при выделении какой-либо одной спектральной линии допустимая разность хода может быть значительно больше. А ширина линии излучения лазера может быть сделана настолько малой, что удается наблюдать интерференцию при разности хода в несколько километров. [43]
Другой вид плазмы - газоразрядная плазма - отличается от изотермической плазмы тем, что заряженные частицы, входящие в состав такой плазмы, постоянно находятся в ускоряющем электрическом поле и черпают из него энергию своего хаотического движения. [44]
НЕИЗОТЕРМИЧЕСКАЯ ПЛАЗМА - термодинамически неустойчивая газоразрядная плазма, в к-роп темп - pa электронного газа много выше, чем темп-ра нейтрального газа. [45]
Страницы: 1 2 3 4