Сплошная пленка

Cтраница 2

Нанесение сплошной пленки алюминия выполняется после вытравливания в слое двуокиси окон под контакты. Осаждение алюминия происходит в термической вакуумной установке. При этом алюминий соприкасается с кремнием через контактные окна. Однако прочное соединение алюминия с кремнием получается после операции вплавления, которая происходит при температуре порядка 500 С. Окончательное формирование проводников коммутирующего слоя и контактных площадок производится методами фотолитографии. В микросхемах средней и высокой степени интеграции соединения приходится выполнять в нескольких слоях. В этом случае непосредственно с контактными областями кристалла соединяются только проводники нижнего слоя. Последующие слои играют роль перемычек между этими проводниками и контактными площадками. [16]

Исследование сплошных пленок белков и других биополимеров дает важный материал для характеристик не только физико-химических свойств, но и биологического их поведения, Пример кривой сжатия приведен на рис. VII. Сумма площадей, приходящихся на все сегменты макромолекулы глиадина, равна 140 им2, тогда как значение 50 нм2 отвечает площади собственно полипептидной цепи. [17]

Исследование сплошных пленок белков и других биополимеров дает интересный материал для характеристики не только физико-химических свойств, но и биологического поведения этих полимеров. Сумма площадей, приходящихся на все сегменты макромолекулы глиадина, равна 14000 Л2, тогда как значение 5000 А2 отвечает площади собственно полипептидной цепи. [18]

Исследование сплошных пленок белков и других биополимеров дает важный материал для характеристик не только физико-химических свойств, по и биологического их поведения. Пример кривой сжатия приведен на рис. VII. Сумма площадей, приходящихся на все сегменты макромолекулы глиадина, равна 140 им2, тогда как значение 50 нм2 отвечает площади собственно полипептидной цепи. [19]

Кривая сжатия поверхностной пленки белка глиадина. [20]

Исследование сплошных пленок белков и других биополимеров дает важный материал для характеристики не только физико-химических свойств, но и биологического их поведения. Сумма площадей, приходящихся на все сегменты макромолекулы глиадина, равна 140 нм2, тогда как значение 50 нм2 отвечает площади собственно полипептидной цепи. [21]

Смолы образуют сплошные пленки при охлаждении после плавления или в результате испарения растворителя из раствора, нанесенного относительно тонким слоем. [22]

Поскольку возникла сплошная пленка, то ее рост следует рассматривать с позиций роста кристаллов. Механизм этого роста ( рис. 6 - 7) включает адсорбцию атомов на паровой фазы преимущественно на гранях с малыми индексами, поверхностную диффузию к ступеньке, взаимодействие со ступенькой, диффузию вдоль ступеньки и присоединение к кристаллу в месте излома. [23]

В действительности сплошная пленка получается при достаточно высоких скоростях падения атомов на подложку, и поэтому взаимодействием между отдельными адсорбированными атомами нельзя пренебрегать. Адсорбированные атомы могут мигрировать по поверхности, сталкиваясь с другими атомами, и тогда могут возникать скопления из адсорбированных атомов, или зародыши. Последние, по сравнению с отдельными атомами, должны быть более устойчивы к повторному испарению, так как они связаны друг с другом силами связи, характеризующими энергию конденсации. Однако устойчивость небольших зародышей, или кластеров, содержащих всего лишь несколько атомов, определяется не только объемной анергией конденсации. Атомы в таком зародыше обычно имеют меньше ближайших соседей, чем в объеме, и почти всегда имеют меньше или совсем не имеют соседей, принадлежащих к следующей координационной сфере. Таким образом, отношение поверхности к объему у них очень велико, и из-за высокой поверхностной энергии кластеры становятся менее устойчивыми. В большинстве теорий, рассматривающих процесс зародышеобразования, постулируется, что существует стационарное состояние, при котором зародыши различных размеров находятся в равновесии с адсорбированными атомами; последние же диффундируют по подложке в течение времени та, постоянно сталкиваясь друг с другом и разными зародышами. [24]

Если образование сплошной пленки не происходит или образуются рыхлые пленки или пленки с трещинами, то скорость процесса будет определяться также скоростью химической реакции или в значительной мере закономерностями образования и развития трещин. [25]

Возможность получения сплошных пленок зависит от рН электролита. При оптимальном значении рН сплошные анодные оксидные пленки могут быть получены на различных металлах, включая А1, Та, Nb, Si, Ti и Zr. Конечная толщина пленки определяется видом металла, приложенным напряжением, температурой ванны и временем, в течение которого металл находится в электролите. Конечная толщина пленки, выращиваемой в режиме постоянного тока, зависит, в частности, от степени чистоты подложки и электролита, поскольку наличие примесей вызывает пробой пленки при более низком напряжении. [26]

Схематическое изображение пленочно-адсорбционной пассивности поверхности нержавеющей хромоникелевой стали. [27]

При наличии сплошных пленок на поверхности металла адсорбционный механизм торможения анодного процесса, по мнению этих авторов, является добавочным и должен быть отнесен к этим пленкам, а не к поверхности металла. [28]

Быстрому образованию сплошной пленки может содействовать введение летучего растворителя или пластификатора, например ксилола. [29]

Рассмотрим влияние сплошной пленки на процесс химической коррозии во времени. Адсорбировавшиеся атомы жидкости диффундируют в твердый материал, образуя мономолекулярный слой продуктов реакции. При образовании тонкой пленки дальнейшее взаимодействие жидкой и твердой фаз определяется ее свойствами, точнее - коэффициентами диффузии атомов жидкой среды и твердого материала через пленку. Толщина пленки может увеличиваться вследствие образования новых слоев продуктов реакции на границе с жидкой средой или твердым материалом и, наконец, в центральных частях начальной пленки в зависимости от соотношения коэффициентов диффузии. Если коэффициент диффузии атомов твердого материала значительно меньше коэффициента диффузии атомов жидкой среды, то последние будут быстрее достигать поверхности раздела слой новообразований - твердый материал, Где при определенной концентрации их решетка будет перестраиваться с образованием новых соединений. При обратном соотношении коэффициентов диффузии образование этих продуктов происходит на границе с жидкой средой. [30]

Страницы: 1 2 3 4