Cтраница 4
Нанесенная пленка должна быть стекловидной или ее действенность должна основываться на том, что при нагреве она превращается в пену, которая закрывает всю поверхность дерева. Еще более рациональны такие вещества, которые при нагревании расплавляются, отчего улучшается их связность с защищаемой поверхностью. [46]
Вместе с тем нанесенная пленка оксида стабилизирует электрические свойства поверхности раздела и защищает ее от воздействия внешних факторов в процессе эксплуатации прибора или микросхемы. [47]
Схема получения пленочных металлических контактов. [48] |
Напыление осуществляется в вакууме при давлении ниже Ю-5 мм рт. ст. При достижении этого давления начинают распыление, пропуская большой ток через лодочку или катушку, которые служат в качестве нагревателя, Между нагревателем и подложкой вводится затвор или экран. Для измерения толщины нанесенной пленки используется отраженный или проходящий свет. [49]
К полученному раствору приливают тетраэтоксисилан, в результате чего образуются полимерные эфиру ортокремниевой кислоты. Пластину кремния с нанесенной пленкой помещают в печь ( ( 00 - ( 150 С) и отжигают в атмосфере воздуха в течение 30 сек. Пленки получаются равномерными по толщине, обладают прочным сцеплением с поверхностью кремния и легко подвергаются селективному травлению слабыми растворами плавиковой кислоты. [50]
Внутренние напряжения могут быть уменьшены рациональным режимам формирования пленки. По мере испарения растворителя из нанесенной пленки молекулы некоторых полимеров стремятся свернуться клубком. Так ведет себя, например, нитроцеллюлоза, входящая в состав нитроэмали. Если скорость испарения растворителя больше, чем скорость релаксации ( сворачивания) молекул, то при последующем - отверждении в пленке сохранятся внутренние механические напряжения. Если эти напряжения окажутся в дальнейшем больше сил когезии, то возможно растрескивание эмали. [51]
Изменение / ( k в члене уравнения Ван-Деемтера С i в зависимости от А. [52] |
Член С изменяется пропорционально квадрату толщины жидкой пленки на поверхности носителя. Вследствие этой квадратичной зависимости утолщенные участки неравномерно нанесенной пленки значительно увеличивают С. Следовательно, равномерно нанесенная и тонкая пленка является желательным условием поддержания сопротивления массопереносу в жидкой фазе на низком уровне. [53]