Плотность - ступень
Cтраница 1
Плотность ступеней определяется тем, генерируются ли они двумерными зародышами или дислокациями. Образование двумерных зародышей требует преодоления потенциального барьера, высота к-рого пропорциональна линейной энергии ступеней и обратно пропорциональна &. Возможно, что образование зародышей облегчается точками выхода на поверхность краевых дислокаций. [2]
Нарушение непрерывности в плотности ступеней происходит вслед за продвигающимся вперед горбом или, как это может быть названо, скоплением ступеней. Впрочем, оно может иметь место по любую сторону от скопления. Если с увеличением плотности ступеней dqldk уменьшается или, другими словами, если dzqldk2 - величина отрицательная ( см. ниже рис. 56), то нарушение происходит позади продвигающегося вперед скопления. Условием для того, чтобы рассматриваемое нарушение осуществлялось перед скоплением, является возрастание dqldk с увеличением плотности ступеней ( d qldk2 0); в этом случае характеристики ( рис. 42) сходятся перед продвигающимся горбом плотностей ступеней и расходятся позади него. Такое условие может быть выполнено, например, если движение ступеней подвергается влиянию адсорбирующихся примесей. Последние уменьшают скорость развития ступеней. Продвигающаяся вперед ступень оставляет после себя чистую поверхность, на которой может происходить адсорбция. Со временем плотность адсорбированных веществ будет постепенно увеличиваться и будет тем больше, чем меньше поток, при условии если концентрация примесей мала, так что ко времени прохождения следующей ступени равновесная концентрация адсорбированных частиц на поверхности не успевает установиться. Чем дальше отстоит последующая ступень от предыдущей, тем большую плотность адсорбированных примесей встретит эта ступень на своем пути. [3]
Если плотность изломов превосходит плотность ступеней, а скорость двумерной диффузии атома по поверхности соизмерима со скоростью его одномерной диффузии вдоль ступени, то четвертую и пятую стадии можно исключить из числа лимитирующих факторов. Полагая, что энергия образования излома на ступени равна приблизительно / ю энергии испарения), Франк вычислил, что при минимальных температурах, обеспечивающих достаточное для роста кристалла давление пара, изломы на ступени образуются через три-четыре атома. [4]
 |
Предполагаемая зависимость между потоком ступеней q и плотностью ступеней k ( по Франку. [5] |
Предполагается, что в начальный момент времени t0 плотность ступеней по оси х везде сохраняется одинаковой, за исключением симметричного горба, представляющего собой области повышенной плотности ступеней. [6]
Шарп показал в своей работе, что вообще уровень плотности ступеней быстро возрастает при увеличении суммарной площади границ зерен в единице объема материала. Эффект Савара - Мас-сона может проявляться и в виде двух или трех значительно отличающихся серий ступеней. [7]
 |
Скорость роста пирамид. [8] |
Таким образом, с увеличением толщины осадка слои становятся больше, а плотность ступеней уменьшается. [9]
На рис. 42 приведены профили растущих поверхностей, которые могут быть получены интегрированием плотности ступеней по расстоянию. Образовавшиеся однажды нарушения непрерывности в плотности ступеней и в наклоне профиля поверхности будут, однако, постепенно уменьшаться со временем ( если поток ступеней зависит только от плотности ступеней), так как наклон характеристичных линий для последующих периодов становится одинаковым. [10]
Показаны кривая зависимости q ( k), характеристика X - t, распределение плотности ступеней k ( x, t и развивающиеся профили поверхности с угловой точкой на хвостовой части профиля. [11]
Контрастность рельефа при неизменной высоте элементарных ступеней может увеличиваться за счет появления на грани так называемых кинематических волн плотности ступеней. [12]
Число ступеней в некоторой точке на единицу длины в направлении л: обозначим через k, назвав его плотностью ступеней. Обозначим через q поток ступеней, определив его как их число, проходящее через данную точку за единицу времени. [13]
Из уравнения (20.5) следует, что в плоскости xt вдоль линии с наклоном dx / dt c ( k) dqjdk плотность ступеней k ( и, следовательно, q) постоянна. Такая линия называется характеристикой. [14]
При выращивании нитевидных кристаллов кремния, легированных Ait до концентрации 3 - Ю15 см - 3на гранях ( 112), плотность ступеней увеличивается с увеличением концентрации легирующей примеси. Следует отметить, что одновременно растет и высота ступеней ( см. рис. 1, б), причем высота ступеней возрастает с увеличением диаметра нитевидных кристаллов и достигает значений 0 7 мкм на нитевидных кристаллах диаметром 40 мкм. [15]
Страницы: 1 2