Cтраница 4
Совмещенная микросхема. - структура. 6 - эквивалентная электрическая схема. [46] |
ЗЗТРМ снимают слой фоторезиста и окисляют поверхности канавок Над слоем двуокиси кремния выращивают монокристаллический кремний толщиной примерно 100 мкм, который заполняет и канавки. Этот процесс выполняют в печах для эпитаксиального выращивания. Поликристаллический кремний обладает необходимой механической прочностью, стабильностью размеров и таким же коэффициентом теплового расширения, как и монокристаллический кремний. Затем часть монокристаллического кремния удаляют; при этом образуются изолированные области, в которых создаются элементы микросхем. [47]
Исследования показали, что металл у поверхности канавок, выплавленных электрической дугой, не подвергается значительным изменениям. При выплавлении канавок электродами, покрытыми обмазкой с железной окалиной или с каменноугольным шлаком ( см. выше), содержание в поверхностном слое углерода, марганца и фосфора по сравнению с первоначальным практически не изменяется. Содержание кремния может возрастать в пределах величин, не вызывающих принципиальных изменений свойств стали. Содержание марганца может несколько повыситься в результате выплавки канавки электродами с обмазкой, содержащей марганцевую руду. [48]
Результаты металлографических исследований. [49] |
В сталях с мартенситной исходной структурой у поверхности канавки отмечен тонкий слой мартенсита толщиной 0 2 мм, далее следует участок отпущеного мартенсита с характерным провалом твердости. Именно на этом участке, зажатом между двумя слоями мартенсита и испытывающем с их стороны напряжения сжатия, при резке иногда возникают трещины. [50]
Обеспечение такой оптимизации основано на нанесении на поверхность регулярных канавок, перпендикулярных направлению скольжения. При этом возникает проблема оптимального выбора параметров канавок. При больших отношениях alb возрастает молекулярная, а при малых - механическая составляющая трения. Показано, что для оптимизации микрорельефа поверхностей можно использовать явление АЭ. Установлено, что нанесение канавок при использовании смазки И-20 А, обладающей малой склонностью к пленочному голоданию, влечет за собой повышение интенсивности АЭ и, следовательно, приводит к снижению антифрикционного эффекта вследствие увеличения механической составляющей трения. Чем больший процент номинальной площади контакта занимают канавки, тем жестче режим трения. При использовании смазки ЦИАТИМ-201, склонной к пленочному голоданию, нанесение смазочных канавок в определенном диапазоне параметров а и Ь нивелирует пленочное голодание и улучшает антифрикционные качества контакта. Оптимальное значение параметра a I b 2 5, что соответствует результатам, полученным другими авторами более сложными методами. [51]
Очевидно, что эти параметры определяют величину поверхности канавки, получаемой за единицу времени. Наряду с этим со скоростью резки связаны длина дуги и ее напряжение. [52]
При воздушно-дуговом строгании хромоннкелевой стали происходит науглероживание поверхности канавки на 0 01 - 0.03 %, в очень тонком поверхностном слое металла - около 0 1 мм. [53]
В шкивах для клиноременных передач наблюдается износ поверхностей канавок, надломы обода, трещины на ступицах, износ посадочного отверстия и шпоночного паза. Для сохранения передаточного отношения допускается обточка сопряженного шкива до соответствующего диаметра. Передаточное отношение i Di / D2, где Di - диаметр меньшего шкива, обычно ведущего, Dz - диаметр большего шкива. [54]
Зависимость коэффициента трения резины от шероховатости поверхности вала. [55] |
Для соединения же со знакопеременным давлением жидкости поверхности канавки, и в особенности ее дно, должны быть обработаны йо требованиям, предъявляемым к подвижным соединениям. [56]
Поршневые кольца. [57] |
Давление рабочей жидкости прижимает кольцо к боковой ( поверхности канавки и, разжимая кольцо, увеличивает его давление на зеркало цилиндра. Поршневые кольца изготавливаются из кованой бронзы, перлитного чугуна с высокими механическими и антифрикционными показателями и стали. В некоторых случаях применяют графит или фторопласт. Желательно подобрать материал колец так, чтобы он составил с цилиндром и поршнем антифрикционную пару. [58]
С повышением давления сжатого воздуха содержание углерода на поверхности канавки также повышается. [59]
Изоляция осуществляется слоем окиси алюминия, образованной на поверхности канавок электролитическим методом, и сколькими слоями полимеризованного бакелита. [60]