Cтраница 2
На метровых волнах применяют однотактные и двухтактные схемы генераторов. Применение схем с общим анодом или с общей сеткой зависит от требуемой величины обратной связи. Схемы с общим ( заземленным) катодом не используют, поскольку при заземлении катода емкости анод-земля и сетка-земля значительно увеличивают емкости лампы, тем самым понижая генерируемую частоту и уменьшая эквивалентное сопротивление нагрузки. Поэтому катод всегда изолируют от земли по высокой частоте дросселями. [16]
Данный ряд Fe, W, Ni, Та, Ag, Mo, Pt построен по принципу уменьшения скоростей испарения материалов. Помимо ограниченной скорости испарения, метод подвешенной капли имеет и другие недостатки. В этом случае молибденовая или титановая проволока непрерывно сматывается с катушки, проходит через охлаждаемую медную направляющую, которая является основанием, поддерживающим стабильный расплавленный шарик металла. Скорость подачи проволоки и энергия пучка должны быть согласованы со скоростью испарения, определяемой давлением паров и размерами расплавленной капли. Сильное газоотделение при плавлении металла частично уменьшается в результате джоулева нагрева проволоки на ее пути от катушки к направляющей. В этой конструкции катод находится в области высокой плотности паров испаряемого материала, ионизация которых приводит к эрозии катода вследствие катодного распыления и к соответствующему загрязнению пленок. Очевидно, что для устранения этих недостатков требуется вывод катода из рабочей зоны и защита его металлическими экранами. Системы этого типа исключают прямую видимость катода со стороны испарителя, а также со стороны подложек. Кроме того, экранам сообщается потенциал катода, в результате чего траектории электронов становятся криволинейными и заканчиваются на испаряемом веществе. Схематический вид подобных устройств показан на рис. 21, б, в. Как следует из этого рисунка, катодная петля может быть расположена как ниже ( Унвала и Букер [103]), так и выше ( Чопра и Ренд-летт [104]) зоны испарения. Конструкцию, подобную приведенной на рис. 21, в, относительно легко реализовать. Высокое напряжение обычно прикладывается к катоду и поэтому источник питания должен иметь хорошую электрическую изоляцию; при этом основание, поддерживающее испаряемый мтериал, заземляется. При заземлении катода наиболее сильное электрическое поле локализуется в области максимальной плотности паров, окружающей зону испарения. Это часто приводит к возникновению тлеющего разряда. Ионизация паров в зоне электростатического экрана создает пространственный заряд, который уменьшает ускоряющий потенциал. При высоких скоростях испарения между катодом и стенками вакуумной камеры может возникать тлеющий разряд. Это затрудняет управление мощностью пучка и скоростью испарения. Близость испаряемого материала к катодным экранам приводит также к появлению значительного количества осажденного вещества на некоторых участках экрана, что требует либо частой очистки, либо замены экранов. [17]