Повышение - температура - силицирование
Cтраница 1
Повышение температуры силицирования в порошке кремния в интервале 1250 - 1350 приводит, как показано в [5], к заметному увеличению скорости окисления образцов MoSi2 при последующем испытании на воздухе. При этом изменяется также их кристаллическая структура. [1]
 |
Схема прибора для силицирования. [2] |
Для исследования влияния повышения температуры силицирования на свойства слоев были получены образцы MoSi2 силици-рованием на всю толщину тонких ( 0.1 мм) молибденовых пластин при температурах 1350, 1500, 1600, 1700 С. [3]
 |
Привес образцов MoSi2 при окислении на воздухе, 1500 С. [4] |
Усиление преимущественной ориентации кристаллов с повышением температуры силицирования объясняется, по-видимому, уменьшением напряжений образования в слое. [5]
 |
Микротвердость MoSiz. [6] |
Как было показано ранее [5], с повышением температуры силицирования в интервале 1250 - 1350 скорость окисления увеличивалась, что могло быть связано с текстурой. [7]
 |
Микротвердость MoSi2, полученного при различных температурах. [8] |
Как было показано ранее [5], с повышением температуры силицирования в интервале 1250 - 1350 скорость окисления увеличивалась, что могло быть связано с текстурой. [9]
 |
Микротвердость MoSi2, полученного при различных температурах. [10] |
Как видно из приведенных данных ( рис. 3), с повышением температуры силицирования до 1600 С скорость окисления незначительно увеличивается, а у образцов, полученных при 1700 С и дополнительно отожженных, - уменьшается до значений, близких к тем, которые наблюдаются у образцов, силицированных при 1250 и отожженных. [11]
На микрофотографиях шлифов ( см. рисунок) видно, что образцы имеют столбчатую структуру в направлении фронта диффузии. С повышением температуры силицирования от 1250 до 1300 С размер зерен уменьшается, а при 1350 С снова увеличивается. [12]
На микрофотографиях шлифов ( см. рисунок) видно, что образцы имеют столбчатую структуру в направлении фронта диффузии. С повышением температуры силицирования от 1250 до 1300 С размер зерен уменьшается, а при 1350 С снова увеличивается. [13]
Влияние условий получения силицидных слоев на молибдене на некоторые их свойства. Исследованы некоторые свойства слоев, полученных при силицировании молибдена в паровой фазе кремния при высоких температурах. Показано, что с повышением температуры силицирования увеличивается размер зерен дисилицида молибдена, сильно повышается степень преимущественной ориентации кристаллов, что объясняется уменьшением напряжений образования. [14]
Страницы: 1