Поддержание - разряд
Cтраница 2
При самостоятельном разряде электроны и ионы, необходимые для поддержания разряда, образуются только за счет приложенного к прибору напряжения, и участия внешнего ионизатора не требуется. [16]
При самостоятельном разряде электроны и ионы, необходимые для поддержания разряда, образуются в самом разряде и участия внешнего ионизатора не требуется. [17]
Хотя неоновая лампа и требует высокого напряжения зажигания, для поддержания разряда достаточно небольшого напряжения. Поэтому трансформаторы, предназначенные для питания таких ламп, изготовляются с воздушным зазором в железе. При небольших нагрузках с такого трансформатора можно получить высокое напряжение, достаточное для зажигания ламп. После же зажигания ток увеличивается и напряжение автоматически понижается. [18]
Экситроном называется ртутный вентиль с однократным зажиганием при пуске и поддержанием разряда в нем при помощи вспомогательной дуги возбуждения. [19]
Хотя катод при тлеющем разряде остается холодным, но в поддержании разряда большую роль играет его бомбардировка положительными ионами, так как они выбивают из него электроны, дающие начало электронным лавинам. Учитывая это, легко понять, что величина катодного падения потенциала должна зависеть от материала катода и рода газа. [20]
 |
Распределение потенциала в дуговом разряде.| Вольтамперпап хар-ка самостоят, дугового разряда. [21] |
В зависимости от явлений на катоде и прежде всего от способа поддержания разряда имеют место две осн. [22]
Кратковременная искра возникает в том случае, когда мощность источника недостаточна для поддержания непрерывного разряда. [23]
Следовательно, область отрицательного свечения благодаря б-про-цессам участвует в производстве зарядоносителей, необходимых для поддержания разряда как на поверхности катода, так и в объеме круксова пространства. [24]
При плазменном анодировании основные электроды газоразрядного промежутка ( катод и анод) служат только для поддержания разряда. Диэлектрическую подложку с окисляемой пленкой погружают в кислородную плазму и подают смещение, независимое от основного разряда. Для протекания постоянного тока в цепи анодируемой пленки применяют контрэлектрод, погруженный в плазму. Возможно использование любого разряда низкого давления: тлеющего, дугового, высокочастотного и сверхвысокочастотного. Важно, чтобы разряд мог образовывать плазму с необходимыми параметрами в больших объемах и не вызывал распыления электродов, так как продукты распыления будут загрязнять растущий окисел и станут источниками дефектов. Дуговой разряд отвечает этим требованиям, однако он малопригоден для промышленного использования из-за быстрого разрушения термокатода в активной кислородной среде. Применение безэлектродных ВЧ и СВЧ разрядов позволяет полностью исключить распыление основных электродов, но остается возможным распыление контрэлектрода и диэлектрических стенок вакуумной камеры. [25]
После пробоя аналитического промежутка напряжение на нем уменьшается до нескольких десятков вольт, необходимых для поддержания разряда. [26]
При дальнейшем уменьшении давления газа протяженность темного пространства, а также напряжение, необходимое для поддержания разряда, будут увеличиваться. [27]
Главным недостатком всех рассмотренных выше диодных методов распыления является необходимость относительно высокого давления инертного газа для поддержания разряда, что повышает вероятность загрязнения пленки. На рис. 33, г, д и е показаны варианты трехэлектродной системы катодного распыления; рабочий процесс в этом случае называют также ионно-плазменным распылением. При ионно-плазменном распылении бомбардировку специальной мишени осуществляют ионами плазмы газового разряда низкого давления. Дуговой газовый разряд зажигается между раскаленным катодом, являющимся источником электронов и анодом при напряжении 150 - 260 В. Разрядный ток в этом случае достигает нескольких ампер. [28]
Объемная ( коэффициент 3) и поверхностная ( коэффициент Y) ионизации положительными ионами недостаточны для поддержания разряда. [29]
Анодные части разряда, тесно связанные с расположением и формой анода, не являются существенными для поддержания разряда и могут отсутствовать. Как уже было указано, эти части исчезают, если на анод попадет поток быстрых электронов. В этом отношении вредно действуют не только быстрые электроны тлеющего свечения, но и электроны, имеющиеся в области положительного столба. [30]
Страницы: 1 2 3 4