Откачная позиция
Cтраница 3
Вакуумная система, построенная по схеме 2 табл. 14.3, применена в 16-позиционном откачном полуавтомате. Шестнадцать откачных позиций разбиты на четыре группы, каждая из которых обслуживается одним многокамерным механическим вакуумным насосом 7, помещенным на нижней части карусели. Предварительная откачка изделия 17 производится через клапан 3 одной из камер многокамерного механического вакуумного насоса. В это время клапан 13 закрыт. При повороте карусели механизм / / разобщает клапан 5 и стационарную вакуумную систему предварительной откачки и наполнения колпака. [31]
На различных участках конвейера к шинам подводится различное напряжение. При подходе откач-ной ячейки к определенным откачным позициям конвейера с помощью щеток 6 и шин 5 снимается и подается напряжение на подогреватель, катод, модулятор и другие электроды прибора, которое необходимо для активирования катода на данной позиции. [32]
 |
Откачное гнездо полуавтомата с золотником в области низкого вакуума. [33] |
Сначала выполняют предварительное обезгаживание, для чего откачную позицию переводят на вторую позицию, где расположена нижняя манометрическая лампа. При падении вакуума отключают вакуумным зажимом откачную позицию и определяют место течи: до зажима или между зажимом и золотником. [34]
В машинах с золотником в области высокого вакуума откачка газов из одного и того же прибора на разных позициях производится разными диффузионными и механическими насосами. В этих машинах вращается только карусель с рабочими откачными позициями, а насосы неподвижны. Входной патрубок диффузионного насоса присоединен к отверстию в неподвижном диске золотника и через него соединяется с вакуумной системой откачного гнезда, приходящего на позицию. Если такой автомат имеет 36 позиций, то откачиваемый прибор поочередно подсоединяется к 36 различным диффузионным насосам. [35]
Эта прямоточная вакуумная схема ( соответствующая рис. 153) не имеет вентилей, сильфонов и длинных вакуумных трубопроводов - это обеспечивает большую скорость откачки и низкое давление остаточных газов. В конвейерную машину, кроме откачных ячеек, входят: тоннельная газовая печь 2, подвешенная на раме / ( печь служит для прогрева прибора до температуры / - 450 - - 4800С); высокочастотные катушки 3, образующие коридор и служащие для обезгаживания электронно-оптической системы и газопоглотителя; токоведущие шины 5, протянутые вдоль конвейера - для подачи электроэнергии к откачным позициям. На различных участках конвейера к шинам подводится различное напряжение. При подходе откачной ячейки к определенным откачным позициям конвейера с помощью щеток 6 с шин 5 снимается и подается напряжение на подогреватель, катод, модулятор и другие электроды прибора, которое необходимо для активирования катода на данной позиции. [36]
При построении схемы соединения позиций автомата с насосами выдержан принцип присоединения возможно большего числа последних позиций к отдельным насосам. Постепенное увеличение числа позиций, приходящееся на один насос, допущено лишь у начала откачки. Только откачная позиция /, где удаляется основная масса воздуха, остается присоединенной вместе с сигнальной позицией 2 к отдельному насосу. [37]
Заканчивают настройку вакуумной системы проверкой скорости откачки на откачном гнезде, для чего используют дополнительную манометрическую лампу, к которой приваривают стеклянный штенгель. Обычно его отгибают в сторону, чтобы лампу можно было пропустить под индуктором высокой частоты. Лампу устанавливают в гнездо, которое останавливают на первой откачной позиции. Гнездо закрывают и определяют по секундомеру, какое разрежение будет в лампе через 60 с. Если разрежение на позициях с механическими насосами не ниже 10 - 2 мм рт. ст., а на позициях с диффузионными насосами не ниже 10 - 3 мм рт. ст., позиция считается годной. В ином случае регулируют гайку обратного клапана и зажим по вакуумному вкладышу. Для правильности настройки необходимо, чтобы к лампе был приварен штенгель с соответствующим диаметром. [38]
Все откачные позиции ( после сигнальной) должны соединяться по возможности с отдельными насосами. В случае течи одного из приборов отдельные трубопроводы и насосы не позволяют атмосферному воздуху проникнуть в нормально откачиваемые приборы. Это-особенно важно для приборов, находящихся во второй половине откачного цикла и на последних откачных позициях. Поэтому увеличение количества приборов, приходящихся на один насос, допускается только в первой половине откачного цикла. Позиции обслуживаются насосами согласно вакуумной системе машины. [39]
Все откачные позиции ( после сигнальной) должны соединяться по возможности с отдельными насосами. В случае течи одного из приборов отдельные трубопроводы и насосы не позволяют атмосферному воздуху проникнуть в нормально откачиваемые приборы. Это особенно важно для приборов, находящихся во второй половине откачного цикла и на последних откачных позициях. Поэтому увеличение количества приборов, приходящихся на один насос, допускается только в первой половине откачного цикла. Позиции обслуживаются насосами согласно вакуумной системе машины. [40]
Эта прямоточная вакуумная схема ( соответствующая рис. 153) не имеет вентилей, сильфонов и длинных вакуумных трубопроводов - это обеспечивает большую скорость откачки и низкое давление остаточных газов. В конвейерную машину, кроме откачных ячеек, входят: тоннельная газовая печь 2, подвешенная на раме / ( печь служит для прогрева прибора до температуры / - 450 - - 4800С); высокочастотные катушки 3, образующие коридор и служащие для обезгаживания электронно-оптической системы и газопоглотителя; токоведущие шины 5, протянутые вдоль конвейера - для подачи электроэнергии к откачным позициям. На различных участках конвейера к шинам подводится различное напряжение. При подходе откачной ячейки к определенным откачным позициям конвейера с помощью щеток 6 с шин 5 снимается и подается напряжение на подогреватель, катод, модулятор и другие электроды прибора, которое необходимо для активирования катода на данной позиции. [41]
Золотник состоит из двух находящихся в контакте массивных стальных дисков. Поверхности соприкасающихся золотников тщательно отшлифованы и представляют собой вакуумные уплотнения типа плоского шлифа. Нижний диск золотника 7 неподвижен и закреплен в станине. По окружности неподвижного диска равномерно расположено столько отверстий ( диаметром 6 - 9 мм), сколько рабочих откачных позиций имеет машина. Эти отверстия соединены каналами с впаянными трубками 8, к которым присоединены трубопроводы, идущие от неподвижных насосов. [42]
Страницы: 1 2 3