Получение - монокристалл - кремний
Cтраница 1
Получение монокристаллов кремния осуществляется по-разному. Шефталь, Кокориш и Красилов [432] полагают, что лучше всего процесс кристаллизации проводить из газовой фазы. [1]
 |
Распределение удельного сопротивления по длине монокристалла германия. [2] |
Основные принципы получения монокристаллов кремния аналогичны технологии изготовления монокристаллов германия. [3]
Исходным материалом для получения монокристаллов кремния являются его соединения. [4]
Высокочастотный нагрев используется при получении монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки, очистке германия, получении полупроводниковых соединений А3В5 и других процессах. Все большее распространение находит индукционный нагрев и в производстве эпитаксиальных слоев. [5]
 |
Схема метода бестигельной зонной плавки. [6] |
Этот метод особенно широко применяют для получения монокристаллов кремния, так как вблизи температуры плавления кремний обладает значительной активностью, - разъедает тигель из плавленного кварца и вступает в реакцию с углеродом графитового тигля с образованием карбида кремния. [7]
Как уже указывалось, одним из основных недостатков получения монокристаллов кремния по методу Чохральского является загрязнение расплава Частично растворяющимся кварцевым тиглем. При этом в расплав в значительных количествах переходят кислород ( по реакции Si Si02 2SiO) и ряд других примесей, имеющихся в кварцевом тигле. [8]
Практически у всех легирующих элементов, используемых при получении монокристаллов кремния, k 1, поэтому расчет необходимого количества лигатуры ведут так, чтобы на верхнем торце выращиваемого кристалла получить УЭС, равное максимальному значению, допустимому для кремния выращиваемой марки. [9]
 |
Некоторые электрофизические свойства германия и кремния. [10] |
Дальнейшую очистку кремния производят методом зонной плавки и методом получения монокристаллов кремния. [11]
Рассмотрим влияние основных конструктивных элементов теплового узла на особенности получения монокристаллов кремния по Чохраль-скому. [12]
Здесь будут рассмотрены лишь некоторые особенности, связанные с применением его для получения монокристаллов кремния. Метод Бриджмена сводится к образованию в процессе постепенного охлаждения расплава снизу микроскопического кристаллического зародыша и к последующему росту на нем кристалла заданной ориентации. Следовательно, необходимо обеспечить плавление кремния, а также среду, не вносящую загрязнений в процессе плавления, и очень медленное охлаждение расплава с одного конца. Первые два условия являются общими с методом Чохральского, последнее вносит дополнительные затруднения. [13]
 |
Влияние коэффициентов распределения на эффективность очистки алюминия от примесей. [14] |
Вертикальный вариант зонной плавки в среде увлажненного водорода используется в настоящее время для получения ультрачистых монокристаллов кремния. Удельное сопротивление кремния, полученного таким способом, приближается к удельному сопротивлению абсолютно чистого кремния при комнатной температуре. [15]
Страницы: 1 2 3