Cтраница 3
Функциональная схема системы контроля прибора КС-1. [31] |
При нанесении металлических пленок в вакууме с целью получения тонкопленочных резисторов и проводников можно вместо толщины непосредственно измерять сопротивление этих элементов. Система контроля в этом случае строится так, что процесс осаждения прекращается в тот момент, когда сопротивление пленки достигает заданной величины. В качестве прибора для измерения сопротивления может быть использован любой омметр, подходящий по точности и диапазону измеряемых сопротивлений. Но при этом нужно учитывать, что ток в измерительной цепи омметра, проходящий через контрольный образец, не должен превышать допустимой величины, которая может повлиять на условия формирования контрольной пленки. В противном случае сопротивление пленки на подложке может значительно отличаться от величины сопротивления контрольного образца, что приведет к дополнительной погрешности измерений. [32]
Один из возможных вариантов диаграммы переключателя S3. [33] |
Комбинированный переключатель, используемый в универсальном приборе, оказывается довольно сложным. Количество положений переключателя S3 ( и его полей А, В, С, D) зависит от диапазона измеряемых сопротивлений. [34]
Прибор применяют в цеховых и лабораторных условиях, с его помощью можно выполнять несколько тысяч измерений за смену. Измерения производят сравнением с эталонными сопротивлениями. Генератор содержит измерительную цепь, усилитель со стрелочным прибором на выходе и выпрямитель с электронной стабилизацией. Диапазон измеряемых сопротивлений 107 - 1012 ом. [35]
Термометры сопротивления с полупроводниковыми датчиками еще в начале 50 - х годов применялись для температурных измерений на магистральных газопроводах. Электрическая схема прибора построена по принципу неравновесного моста; датчик и три постоянные сопротивления образовали плечи моста, в диагональ которого включен гальванометр. Прибор снабжен специальными переключателями для изменения направления тока в цепи моста, благодаря чему вдвое расширен диапазон измеряемых сопротивлений датчиков. [36]