Cтраница 2
В кварцевой трубе в атмосфере водорода при температуре около 900 С в течение 10 ч производят диффузию галлия на глубину 3 8 - 4 мк для образования базового р-слоя. В качестве источника используют порошок германия р-типа, сильно легированного галлием. [16]
Одной из наиболее интересных сторон вопроса о плоскостных транзисторах, вероятно, является сам способ их изготовления. Двуокись германия нагревается в восстановительной атмосфере водорода при температуре 650 С в течение нескольких часов, в результате чего двуокись германия переходит в порошок германия. Затем этот порошок нагревается в графитовом тигле до температуры около 1000 С. При этой температуре порошок германия плавится; расплавленный германий по своему внешнему виду очень напоминает расплавленный свинец. Все эти операции выполняются в атмосфере водорода или аргона, чтобы предотвратить интенсивное и крайне нежелательное окисление германия кислородом воздуха. [17]
Поверхность порошка германия определенная методом Брюнаэра, Эммета и Теллера ( БЭТ), составляла 620 см2 / г. Адсорбционные опыты производились с 60 4 г порошка германия. Наличие большой поверхности позволило более детально исследовать процесс хемосорбции кислорода. [18]
![]() |
Зависимость удельной проводимости полупроводника от напряженности электрического поля при различной температуре окружающей среды ( 7 i Г2.| Схема устройства для зонной плавки. [19] |
В результате химической переработки исходного сырья образуется тетрахлорид германия, который путем дальнейших операций переводят в диоксид германия ( Ge02) - порошок белого цвета. Диоксид германия восстанавливается в водородной печи при температуре 650 - 700 С до элементарного германия, представляющего собой серый порошок. В некоторых случаях порошок германия получают непосредственно из GeQ4 путем разложения этого соединения при высокой температуре в атмосфере паров цинка. Порошок германия подвергают травлению в смеси кислот и сплавляют в слитки. [20]
![]() |
Зависимость удельной проводимости полупроводника.| Схема устройства для зонной плавки. [21] |
В результате химической переработки исходного сырья образуется тетрахлорид германия, который путем дальнейших операций переводят в диоксид германия ( GeO2) - порошок белого цвета. Диоксид германия восстанавливается в водородной печп при температуре 650 - 700 СС до элементарного германия, представляющего собой серый порошок. В некоторых случаях порошок германия получают непосредственно из GeQ4 путем разложения этого соединения при высокой температуре в атмосфере паров цинка. Порошок германия подвергают травлению в смеси кислот и сплавляют в слитки. [22]
Чтобы получить германий высокой чистоты, ОеСЦ подвергают - очистке, комбинируя методы дистилляции и экстракции. Очищенный ОеСЦ гидролизуют, полученную в результате гидролиза GeO2 высушивают в вакууме и восстанавливают водородом при 600 - 675 С. По окончании восстановления температуру повышают до 1000 - 1100 С для сплавления порошка германия, водород при этом заменяют инертным газом, так как водород растворим в расплавленном германии. [23]
Процесс осуществляется в трубчатых электропечах с трубами из кварца или чистого графита. Двуокись германия засыпают в лодочки из плотного высокочистого графита. После окончания восстановления ( которое контролируется по прекращению выделения паров воды) температуру поднимают до 1000 С для расплавления порошка германия. Затем лодочку с расплавом с определенной скоростью выдвигают из печи. При этом происходит первая очистка германия от примесей пс способу направленной кристаллизации. Сущность такой очистки рассмотрена в следующем параграфе. [24]
В результате химической переработки исходного сырья образуется тетрахлорид германия, который путем дальнейших операций переводят в диоксид германия ( GeO2) - порошок белого цвета. Диоксид германия восстанавливается в водородной печп при температуре 650 - 700 СС до элементарного германия, представляющего собой серый порошок. В некоторых случаях порошок германия получают непосредственно из GeQ4 путем разложения этого соединения при высокой температуре в атмосфере паров цинка. Порошок германия подвергают травлению в смеси кислот и сплавляют в слитки. [25]
В результате химической переработки исходного сырья образуется тетрахлорид германия, который путем дальнейших операций переводят в диоксид германия ( Ge02) - порошок белого цвета. Диоксид германия восстанавливается в водородной печи при температуре 650 - 700 С до элементарного германия, представляющего собой серый порошок. В некоторых случаях порошок германия получают непосредственно из GeQ4 путем разложения этого соединения при высокой температуре в атмосфере паров цинка. Порошок германия подвергают травлению в смеси кислот и сплавляют в слитки. [26]
Вопрос о том, можно ли очистить поверхность германия от окисных пленок путем прогрева в вакууме, был подвергнут экспериментальной проверке. Для этой цели порошок германия, на котором закончена быстрая и медленная стадия адсорбции при комнатной температуре, прогревался при 400 в вакууме в течение 2 часов. После охлаждения порошка германия снова была проверена его адсорбционная способность по отношению к кислороду при комнатной температуре. Оказалось, что после прогрева порошка германия на его поверхности снова происходит медленная адсорбция. Так как десорбции кислорода при обезгаживании не происходит, а также практически не наблюдается удаления кислорода с поверхности в виде GeO [13], можно предположить, что при прогреве германия, на котором хемосорбирован кислород, происходит изменение характера связи последнего с поверхностными атомами германия. [27]
Одной из наиболее интересных сторон вопроса о плоскостных транзисторах, вероятно, является сам способ их изготовления. Двуокись германия нагревается в восстановительной атмосфере водорода при температуре 650 С в течение нескольких часов, в результате чего двуокись германия переходит в порошок германия. Затем этот порошок нагревается в графитовом тигле до температуры около 1000 С. При этой температуре порошок германия плавится; расплавленный германий по своему внешнему виду очень напоминает расплавленный свинец. Все эти операции выполняются в атмосфере водорода или аргона, чтобы предотвратить интенсивное и крайне нежелательное окисление германия кислородом воздуха. [28]
Вопрос о том, можно ли очистить поверхность германия от окисных пленок путем прогрева в вакууме, был подвергнут экспериментальной проверке. Для этой цели порошок германия, на котором закончена быстрая и медленная стадия адсорбции при комнатной температуре, прогревался при 400 в вакууме в течение 2 часов. После охлаждения порошка германия снова была проверена его адсорбционная способность по отношению к кислороду при комнатной температуре. Оказалось, что после прогрева порошка германия на его поверхности снова происходит медленная адсорбция. Так как десорбции кислорода при обезгаживании не происходит, а также практически не наблюдается удаления кислорода с поверхности в виде GeO [13], можно предположить, что при прогреве германия, на котором хемосорбирован кислород, происходит изменение характера связи последнего с поверхностными атомами германия. [29]