Cтраница 3
Как видно из экспериментальных данные, комбинированная система с высокой быстротой откачивает не только азот и воздух, но и аргон, который хорошо конденсируется при температуре криопанели, равной 20 К. В связи с этим следует отметить, что в диапазоне давлений 10 - 5 - 10 - 4 Па измеренная быстрота откачки насоса НОРД-100 по аргону составила 8 л / с, что почти на два порядка меньше быстроты откачки комбинированной системы по этому газу. [31]
Существенным преимуществом таких насосов является отсутствие в них рабочей жидкости, что позволяет применять их в тех случаях, когда недопустимо проникновение в откачиваемый объем паров рабочей жидкости или продуктов ее разложения. Гетеро-ионные насосы не требуют для своей работы вымораживающих ловушек и промежуточных вентилей и могут присоединяться непосредственно к рабочей камере установки, благодаря чему наиболее эффективно используется полная быстрота откачки насоса. Кроме того, они бесшумны и не требуют непрерывной работы системы предварительной откачки. [32]
Второй способ определения быстроты откачки заключается в том, что во время откачки в откачиваемый сосуд через специальное отверстие впускают газ. По величине давления, которое устанавливается у откачивающего патрубка, зная количество впущенного газа ( обычно определяемое по падению давления вдоль капилляра, по которому протекает газ), можно рассчитать быстроту откачки насоса. [33]
При этом быстрота откачки насоса почти не зависит от давления и пропорциональна площади поверхности, запыляемой Ti. [35]
При низких давлениях в камере, сравнимых с упругостью паров конденсируемых газов, быстрота откачки насоса равна нулю. С повышением давления быстрота откачки насоса растет за счет увеличения коэффициента захвата. При достижении некоторого значения РД2РК быстрота откачки практически во всей области молекулярного течения газа имеет примерно постоянное значение до переходного режима. В переходной области, где число Кнудсена принимает значения Кп5 - 10, снова начинается повышение быстроты откачки крионасоса. [36]
Через ТОО производится откачка вакуумных установок до давления порядка 5 - 10 - 2 тор. Это период нестационарного неустановившегося течения газа, когда изменяется не только давление во всех точках системы, но и поток газа. С изменением давления меняются быстрота откачки насосов и пропускная способность вакуумной коммуникации, поэтому при проектировании трубопроводов предварительного разрежения ориентировочно выбирают тип механического насоса, принимая во внимание, что откачка больших объемов насосами малой производительности нецелесообразна. [37]
Большинство описанных способов обнаружения течей не позволяет точно определить величину течи. Однако в большинстве случаев это и не является особенно важным, так как обычно задача состоит в обнаружении и устранении течи в возможно более короткое время. Разумеется, если известны геометрическая форма и устройство вакуумной установки, а также быстрота откачки насоса, то некоторое представление о величине течи можно получить, пользуясь различными методами течеискания, если предварительно проградуировать систему по калиброванным течам. Опыт работы на данной вакуумной установке также часто позволяет определить величину течи с достаточной степенью точности. Наиболее точным способом определения величины течи является, вероятно, способ измерения возрастания давления. [38]
Пока перепад давления на струе не очень велик, угол струи не является решающим фактором и быстрота откачки определяется в основном минимальной площадью впускного отверстия насоса. Обычно для получения высокого вакуума применяются много-ступенные насосы. Первое сонло делается с максимально большой быстротой откачки, так как оно определяет быстроту откачки насоса в целом. Этого удается достичь лишь при весьма малом перепаде давления по обе стороны струи пара, выходящей из этого сопла. Последующие ступени имеют меньшую быстроту откачки, зато перепад давления на них увеличивается. Отношение быстроты откачки газа данной струей к той быстроте, которая имела бы место при замене струи областью идеального вакуума, называется коэффициентом Хо струи. [39]
Величину В ( л-мтор / сек) называют натеканием и относят к стандартным условиям: внешнее давление 760 тор, проходящий газ - воздух. Натекание выражается скоростью роста давления при неработающих насосах. Натекание ограничивает предельный вакуум, достижимый в системе РЩ1 В / 5, где S - быстрота откачки насосов в условиях динамического равновесия. [40]
Общее натекание любой детали можно определить, покрыв деталь колпаком и наполнив этот колпак гелием. Сама деталь может быть откачана либо одним механическим насосом предварительного разрежения, либо в комбинации с пароструйным. Отсчет течеискателя зависит не только от размеров течи, но также и от количества гелия под колпаком, давления под колпаком, быстроты откачки насоса предварительного разрежения, давления внутри прибора и времени, прошедшего после того, как подали гелий под колпак. Поэтому для каждого случая испытания методом гелиевой камеры должны быть установлены специальные правила, которых необходимо придерживаться. [41]
В установках для получения вакуума сечение трубопровода играет такую же роль, какую играет сечение проводов в электрических цепях; оно не может быть выбрано произвольным. Трубопровод слишком большого сечения является дорогостоящим. Трубопровод малого сечения представляет большое сопротивление течению газа и при слишком малом сечении требуемая быстрота откачки не будет достигнута. Сопротивление потоку газа должно быть сделано возможно меньшим с тем, чтобы полностью использовать для откачки вакуумной системы полную быстроту откачки насоса. [42]
Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка, заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до ДО-4 мм рт. ст. и нагретый до 200 С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10 - 10 мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения ДО-11 мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 - 8 - 10 - 9 мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [43]