Эффективная быстрота - откачка
Cтраница 1
Эффективная быстрота откачки 5эфф убывает сравнительно с номинальной быстротой откачки So при приближении давления к предельному вакууму насоса из-за малых обратных потоков газа в установку через насос QoGp - Очевидно откачиваемый насосом поток газа равен Qiiac S0 / 3, причем входное давление РВх предполагается равным давлению в откачиваемой системе. [1]
 |
Сверхвысоковакуумная установка для напыления тонких пленок с использованием комбинированной откачки. [2] |
Эффективная быстрота откачки этой системы составляет для постоянных газов 200 л / сек, а для паров воды - 4 000 л / сек. [3]
Следовательно, эффективная быстрота откачки не может превысить величину пропускной способности коммуникации. [4]
С целью обеспечения необходимой эффективной быстроты откачки вакуумной системы между откачным гнездом и входным патрубком насоса должна обеспечиваться максимальная пропускная способность. [5]
Из этого уравнения видно, что эффективная быстрота откачки сосуда всегда меньше быстроты откачки насоса и что величина 5эф может быть равна величине S только при U оо, что практически никогда не бывает. Следовательно, если пропускная способность трубопровода во много раз превышает быстроту откачки насоса, то эффективная быстрота откачки сосуда определяется насосом и применение насоса с большей быстротой откачки ведет к увеличению эффективной быстроты откачки сосуда. [6]
В высоковакуумной части системы считают допустимым, чтобы эффективная быстрота откачки составляла примерно 50 % от номинальной быстроты используемого пароструйного насоса. В то же время в низковакуумной коммуникации стремятся к тому, чтобы эффективная быстрота откачки составляла не менее 90 % от номинальной быстроты действия вращательного насоса. [7]
Если пропускная способность линии намного больше Sa, то эффективная быстрота откачки определяется характеристикой насоса; если же пропускная способность линии мала, то 8Э мало зависит от выбора насоса. [8]
В соответствии с окончательными размерами вакуумной системы рассчитывают значение эффективной быстроты откачки системы. [9]
Изменение быстроты действия насоса и пропускной способности системы ведет к изменению эффективной быстроты откачки системы, поэтому целесообразно разбить процесс откачки на несколько последовательных интервалов, в которых быстрота откачки может считаться неизменной, и подсчитать время откачки системы по этапам. [10]
Применение насоса с большей быстротой откачки не имеет смысла, так как эффективная быстрота откачки сосуда практически будет оставаться той же. [11]
Если построить график зависимости давления от натекания, то наклон кривой соответствует эффективной быстроте откачки насоса. Обычно и пользуются такими графиками, хотя на них быстрота откачки выражена неявно. [12]
Если перед защитным экраном поддерживается давление, равное 1 - 10 - 3 Па, а эффективная быстрота откачки равна 5 л / ( с - см2), то общее время непрерывной работы будет 250 дней. [13]
Поскольку всякий трубопровод оказывает сопротивление потоку газа, то на концах трубопровода получается перепад давлений, вследствие чего эффективная быстрота откачки объема оказывается меньше, чем быстрота действия насоса. [14]
Другой возможный способ имитации натекания в трубопроводе предварительного разрежения - просто дросселировать его, пока давление перед дросселирующим вентилем не возрастет соответственно изменению эффективной быстроты откачки предварительного насоса. Этот способ менее удобен: приходится довольно долго выжидать, пока давление установится. [15]
Страницы: 1 2 3