Cтраница 1
![]() |
Зависимость удельной скорости осаждения кремния УУД от мольного отношения Н2. SiCl4 ( в. [1] |
Потоки паро-газовой смеси двигаются вдоль нагретых стержней кремния вверх и опускаются вдоль охлаждаемых стенок реактора вниз, создавая интенсивное перемешивание реакционной смеси в объеме между стержнями. [2]
![]() |
Схема одноступенчатой каталитической конверсии метана паро-кислородо-воздушной смесью. [3] |
Скорость потока паро-газовой смеси в 2 5 раза превышает скорость потока кислородо-воздушной смеси. Из смесителя 3 паро-газо-воздушно-кислородная смесь, имеющая температуру 400 С, проходите большой скоростью смесительный канал и, поступая в конвертор метана 4 сверху, направляется непосредственно на катализатор. [4]
![]() |
Блок-схема установки для выращивания эпи-таксиальных пленок кремния. [5] |
Поэтому выбор скорости потока паро-газовой смеси через реакционную камеру является одним из факторов, определяющих качество и воспроизводимость получаемых пленок. [6]
![]() |
Зависимость состава паровой фазы от состава исходной смеси С1 / Н при Г1450 К. [7] |
При небольших скоростях движение потока паро-газовой смеси строго ламинарное. Характерным для ламинарного потока является то, что перенос вещества паро-газовой смеси к поверхности осаждения происходит посредством молекулярной диффузии и термодиффузии, и скорость переноса реагентов определяется константой скорости диффузии. Наблюдаемая скорость реакции определяется поэтому с одной стороны скоростью переноса реагирующих веществ к поверхности, а с другой стороны кинетикой гетерогенной химической реакции, протекающей на этой поверхности. Учет кинетических факторов имеет особое значение при выращивании структурно совершенных эпитаксиальных пленок, где выход кремния является второстепенным фактором. [8]
![]() |
Зависимость коэффициента массопереноса в твердой фазе от степени отработай адсорбента. [9] |
Хорошее совпадение значений рт при различных скоростях потока паро-газовой смеси и резкое уменьшение Зт с заполнением адсорбента подтверждают внутридиффузионный характер проникновения паров воды в полости цеолита. Повышение значений ( 5Т при т ] 0 9 объясняется недостаточной надежностью вычисления Рт / ( л) вблизи насыщения, поскольку в кинетических опытах трудно добиться полной отработки цеолита по парам воды. [10]
В промышленности применяются трубчатые печи разных конструкций, отличающиеся формой шахты печи, размерами заполненных катализатором труб, направлением потоков паро-газовой смеси и дымовых газов, типом и расположением горелок, конструкцией устройств для компенсации температурных удлинений и компоновкой аппаратуры конвективной части. [11]
Отдельные параметры - Т, рА, i, ХА, ср, Ф - относятся, с одной стороны, к середине потока паро-газовой смеси, а с другой - к смеси, находящейся в равновесии с зеркалом воды. Разность Д выражает движущую силу процесса. Каждый из этих методов дает иную формулу и численное значение коэффициента теплоотдачи а. Эти коэффициенты тем более переменны, чем меньше параметров учитывает данный метод в выражении движущей силы. [12]
В тех случаях, когда мощность производства относительно невелика ( например, 100 - 120 та аммиака в сутки), часто применяют цилиндрические печи ( рис. П-27), с размещением горелок в подовой части печи или в ее верхнем своде ( в зависимости от направления потока паро-газовой смеси в трубах 26), либо в два яруса в верхней части цилиндрической шахты. [13]
Корпус аппаратов защищен изнутри жаростойким торкретбетон-ным покрытием толщиной 150 мм, обеспечивающим температуру наружной стенки аппарата не выше 150 С. Конструкция аппарата определяет радиальное направление движения потока паро-газовой смеси. Так как катализатор в процессе работы может оседать, верхние части внутреннего стакана и центральной тру бы не перфорированы, чтобы исключить возможность прохождения паро-газовой смеси кратчайшим путем, по незаполненному катализатором пространству. Под катализатором и над ним насыпаны фарфоровые шарики для защиты катализатора от выдувания и уноса. Для контроля за температурой в зоне катализатора в реакторе установлены шесть термопар. Температура наружной стенки корпусов реакторов контролируется поверхностными термопарами. [14]
Рассмотренное явление полностью относится и к конденсации в присутствии положительных и отрицательных ионов. Если пропустить а-частицу или рентгеновские лучи сквозь поток паро-газовой смеси в сублимационном конденсаторе, то при определенных термодинамических параметрах начинается процесс адсорбции и конденсации полярных молекул на ионизированных частицах. При этом чем меньше электрический момент полярных молекул, тем слабее будут связи таких молекул с ионами, тем меньше оказывается комплексная молекула. Правда, не всегда удается экспериментально обнаружить этот факт. Но что всегда имеет место образование комплексных молекул, в этом убеждают эксперименты по определению интенсивности процесса конденсации в зависимости от степени активности молекул. Образование конденсированных групп на заряженных частицах может быть различным по своей интенсивности; этот эффект определяется степенью ионизации и разрежением среды. [15]