Cтраница 1
Однонаправленный воздушный поток достаточно точно характеризуется скоростью воздуха, поскольку чем выше скорость, тем выше класс чистоты помещения. Кратность обмена воздуха связана с объемом помещения, т.е. с высотой потолка, и поэтому является некорректным параметром для характеристики однонаправленного потока. [1]
В помещениях с однонаправленным воздушным потоком, чтобы обеспечить максимально чистые условия, воздух подают на критические участки непосредственно из высокоэффективных фильтров. [2]
Однако для систем с однонаправленным воздушным потоком такой подход неправомерен, так как в этом случае поток воздуха может перенести все частицы, прошедшие через точечный дефект в фильтре, непосредственно к продукции или месту проведения рабочих операций. Для того, чтобы не допустить наличия точечных дефектов, на конечной стадии производства фильтры должны быть просканированы. Для этого на вход фильтра подается тестовый аэрозоль, а на выходе вся поверхность фильтра сканируется пробоотборником частиц таким образом, чтобы области, проверяемые пробоотборником, перекрывались. [3]
Это уравнение нельзя использовать для расчета систем с однонаправленным воздушным потоком, поскольку оно предполагает хорошее перемешивание воздуха внутри помещения. Уравнение также подразумевает, что подаваемый воздух свободен от загрязнений. Это справедливо для частиц сравнительно больших размеров, являющихся носителями микроорганизмов, и для большинства остальных частиц. Исключение составляют лишь частицы очень малых размеров, которые могут проникать через воздушные фильтры. [4]
![]() |
Чистое помещение с однонаправленным воздушным потоком. [5] |
На рис. 1.5 представлены основные элементы чистого помещения с однонаправленным воздушным потоком. Этот воздух движется через помещение в одном направлении со скоростью около 0 4 м / сек ( 80 футов / мин) и выходит через пол, удаляя таким образом из помещения взвешенные в воздухе загрязнения. Такая система потребляет больше воздуха по сравнению с турбулентно вентилируемыми помещениями, поскольку движение воздуха идет в одном направлении, система сводит к минимуму распространение аэрозольных загрязнений внутри чистого помещения и удаляет их через пол. [6]
На рис. 8.7 показана система, предназначенная для чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком. Каркас потолка снабжен сплошным каналом, заполненным жидким гелеобразным герметиком, который не вытекает из канала наружу. Корпус фильтра, выполненный с острой кромкой, погружается в канал, заполненный герметиком. Жидкость смачивает кромку корпуса, обеспечивая идеальную изоляцию и предотвращая утечку воздуха через систему крепления фильтра. [7]
Проблема проверки системы фильтров, размешенных на потолке чистого помещения с однонаправленным воздушным потоком, заключается в том, что площадь потолка может быть настолько велика, что эта операция потребует значительного времени. Так, испытания фильтров в одном чистом помещении крупного предприятия по производству полупроводников могут занять несколько дней. [8]
![]() |
Составляющие части технологии чистых помещений и их взаимосвязи. [9] |
Как в турбулентно вентилируемых чистых помещениях, так и в чистых помещениях с однонаправленным воздушным потоком часто используются такие устройства подачи очищенного воздуха, как боксы с однонаправленным потоком или изоляторы. Эти устройства обеспечивают локальный поток очищенного воздуха и высокие параметры чистоты воздуха там, где это необходимо, например, на участке, где изделие не защищено от воздействия загрязнений. [10]
В 1980 - х годах Медицинский исследовательский совет Великобритании подтвердил, что применение чистых зон с однонаправленным воздушным потоком, а также использование специальной изолирующей одежды для медицинского персонала на четверть снижает риск инфицирования по сравнению с турбулентно вентилируемыми операционными палатами. [11]
В большинстве чистых помещений критический участок, где изделие подвержено воздействию загрязнений, должен находиться в зоне однонаправленного воздушного потока. Это возможно, если чистое помещение целиком использует однонаправленный воздушный поток или там, где применяются ламинарные лабораторные шкафы и боксы. Однонаправленный воздушный поток движется по прямой линии, и тестирующие струи гораздо легче наблюдать, чем в случае турбулентного потока. В случае однонаправленного потока воздух, поступающий из фильтров, должен - в идеальном варианте - беспрепятственно поступать на критичный участок. Однако и в этом случае возможны проблемы, аналогичные обсуждаемым в разделе 11.2. Даже одна и тем более несколько таких проблем, которые могут быть оценены методами визуализации, скорее всего, вызовут неприемлемый рост количества загрязнений. [12]
Выбор методов контроля движения воздуха зависит от вида чистого помещения - является ли оно турбулентно вентилируемым или использует однонаправленный воздушный поток. В чистом помещении с однонаправленным воздушным потоком следует проверить соответствие скорости воздуха и направления его движения заложенным в проекте параметрам. [13]
![]() |
Схема воздушных потоков в разработанной Чарнли системе подачи воздуха. [14] |
На рис. 2.5 представлена опубликованная Чарнли схема воздушных потоков, из которой видно, что в системе был реально достигнут нисходящий однонаправленный воздушный поток. [15]