Однонаправленный поток - воздух
Cтраница 2
В связи с этим в чистом помещении должно находиться минимально необходимое для нормального хода производственного процесса число работающих. Персонал должен правильно располагаться по отношению к продукту ( при работе в однонаправленном потоке воздуха человек не должен находиться между продуктом и источником чистого воздуха); не допускается прислонять материалы к себе при их перемещении внутри помещения, разговаривать, находясь над продуктом; следует исключить хаотичное бесцельное хождение во время работы; избегать резких, нервных движений. Помещение следует поддерживать в опрятном и аккуратном состоянии. [16]
Для того чтобы разбавить и удалить загрязнения, образующиеся в чистом помещении, в него должен подаваться достаточный объем чистого воздуха. В турбулентно вентилируемом чистом помещении класс чистоты непосредственно связан с расходом воздуха: чем больше в заданное время подается воздуха, тем чище в помещении воздушная среда. В чистом помещении с однонаправленным потоком воздуха класс чистоты зависит от скорости подаваемого воздуха. Конкретные значения расхода воздуха и его скорости должны выбираться на этапе проектирования. Из этого следует, что при первоначальной квалификации чистого помещения, а затем периодически в процессе его эксплуатации необходимо проводить измерения этих параметров воздушного потока и подтверждать их корректность. [17]
Чистые помещения на предприятиях микроэлектроники существуют и развиваются уже много лет. На рис. 6.5 представлен тип чистого помещения, широко распространенный в этой отрасли. Из схемы видно, что однонаправленный поток воздуха движется от высокоэффективных фильтров вниз и проходит через пол чистого помещения. Поскольку производство полупроводниковых приборов очень чувствительно к вибрации, предусматриваются специальные меры борьбы с ней. В некоторых конструкциях воздух возвращается на рециркуляцию непосредственно из-под пола, а в других ( аналогичных представленной на рис. 6.5) предусматривается большой подвальный этаж, который используется для технического обслуживания. Существуют конструкции чистых помещений, имеющие и фальшпол, и технический этаж в подвальном помещении. Проект, представленный на рис. 6.5, часто называют танцзалом, поскольку он представляет собой одно большое помещение. [18]
Однонаправленный поток воздуха используется в чистых помещениях в тех случаях, когда в них требуется обеспечить низкие концентрации частиц или микроорганизмов. Такой тип чистых помещений раньше был известен под названием чистые помещения с ламинарным потоком, причем оба названия описывают характер движения воздуха. На рис. 6.1 представлена схема чистого помещения с вертикальным однонаправленным потоком воздуха. На схеме можно увидеть, что воздух подается через группу высокоэффективных воздушных фильтров, размещенных на потолке чистого помещения. [19]
Особое внимание следует обратить на то, чтобы продукт не загрязнялся: во время проведения различных операций. Однако об этом часто забывают и оставляют изделия в чистом помещении собирать пыль. Очень чувствительную к загрязнениям продукцию необходимо хранить в закрытых шкафах, контейнерах, боксах с однонаправленным потоком воздуха или изоляторах. Если в чистом помещении организован однонаправленный поток воздуха, то неплохим решением являются стеллажи, конструкция которых позволяет воздуху проходить через них насквозь. [20]
Устройства с дополнительной очисткой воздуха используют в чистых помещениях для того, чтобы получить воздух более высокого качества для подачи непосредственно на критические участки, где изделия или процессы открыты для воздействия загрязнений. Применение устройств с дополнительной очисткой воздуха широко распространено в турбулентно вентилируемых чистых помещениях и является наиболее распространенной конфигурацией чистых помещений подобного типа. Использование такого способа позволяет обеспечить подачу чистого воздуха только в то место, где он необходим; при этом достигается значительная экономия средств по сравнению с чистым помещением с однонаправленным потоком воздуха по всему пространству. [21]
Особое внимание следует обратить на то, чтобы продукт не загрязнялся: во время проведения различных операций. Однако об этом часто забывают и оставляют изделия в чистом помещении собирать пыль. Очень чувствительную к загрязнениям продукцию необходимо хранить в закрытых шкафах, контейнерах, боксах с однонаправленным потоком воздуха или изоляторах. Если в чистом помещении организован однонаправленный поток воздуха, то неплохим решением являются стеллажи, конструкция которых позволяет воздуху проходить через них насквозь. [22]
Шлем ( или шапочку), если это возможно, следует пристегнуть с наружной стороны комбинезона ( или халата) с помощью кнопок ( пуговиц) и повесить, лучше всего в шкаф. Бахилы размещаются внизу шкафа. Части одежды не должны касаться стенок и друг друга. В чистых помещениях высокого класса одежду часто вешают в боксах с однонаправленным потоком воздуха ( см. рис. 5.7 в главе 5), сконструированных специально, чтобы предотвратить загрязнение одежды. [23]
Вакуумная очистка в комбинации с увлажнением более эффективна, чем сухая, поскольку жидкость способствует лучшему удалению частиц. Использование моющего пылесоса, вообще говоря, более эффективно, чем уборка с помощью швабры, так как в первом случае на полу остается гораздо меньше жидкости, а значит и меньше образующихся после ее высыхания загрязнений. К тому же пол будет быстрее высыхать. На рис. 21.2 показан моющий пылесос, используемый для влажной уборки пола чистого помещения. Такое оборудование может применяться для очистки пола в турбулентно вентилируемых чистых помещениях, но не подходит для перфорированных полов, которые используются в чистых помещениях с однонаправленным потоком воздуха. [24]
 |
Чистое помещение с вертикальным однонаправленным потоком воздуха. [25] |
Воздушный поток такого типа способен сразу удалить аэрозольные загрязнения, источниками которых является персонал и процессы, тогда как система с турбулентной вентиляцией основана на смешивании и разбавлении загрязнений поступающим воздухом. В пустом помещении, где нет препятствий для движения воздуха, загрязнения можно быстро удалять при скоростях потока, которые меньше указанных выше. Однако в функционирующем чистом помещении установлено оборудование, препятствующее движению воздушного потока. Препятствием является и перемещающийся около оборудования персонал. Преграды могут вызвать превращение однонаправленного потока в турбулентный, а вокруг этих естественных препятствий могут образоваться области локальной рециркуляции воздуха. Перемещение персонала также способствует превращению однонаправленного потока воздуха в турбулентный. При более низких скоростях воздуха и при его разбавлении на этих турбулентных участках может повыситься концентрация загрязнений. Поэтому скорость воздушного потока в такой зоне необходимо поддерживать в диапазоне 0 3 - 0 5 м / сек ( от 60 до 100 футов / мин), что дает возможность быстро восстановить нарушенный однонаправленный воздушный поток и разбавить загрязнения в турбулентных участках вокруг препятствий. [26]
Обычно в чистых помещениях сравнительно низких классов ( иногда в помещениях класса ISO 7, т.е. класса 10 000 и часто в помещениях класса ISO 8, т.е. класса 100 000) проверку фильтров на наличие течей не проводят. В чистых помещениях класса ISO 8 ( класс 100 000) высокоэффективные фильтры на выходе системы вентиляции могут вообще не устанавливаться, а вместо них используются мешочные фильтры, размещаемые после центрального кондиционера. В этом случае проверка фильтров на наличие течей по методике, описанной в этой главе, невозможна. Часто можно слышать утверждение, что если требуемая по стандарту чистота воздуха достигается еще до его входа в чистое помещение, то небольшая течь нефильтрованного воздуха через систему фильтрации даст небольшое загрязнение, что вполне приемлемо. Эта точка зрения абсолютно оправдана для турбулентно вентилируемых чистых помещений, где подаваемый воздух хорошо перемешивается с воздухом внутри чистого помещения, что позволяет избежать локальных превышений концентрации частиц, обусловленных дефектами фильтра. В системах с однонаправленным воздушным потоком, особенно в ламинарных шкафах или изоляторах, где расстояние от фильтра до критической зоны может быть небольшим, дефект в поврежденном фильтре может дать направленный поток загрязнений, что, в свою очередь, может вызвать локальное повышение концентрации частиц в критической зоне до недопустимого уровня. Таким образом, чистые помещения с однонаправленным потоком воздуха, а также устройства с дополнительной очисткой воздуха, в которых используется однонаправленный воздушный поток, необходимо всегда проверять на наличие дефектов фильтров. [27]
Страницы: 1 2