Cтраница 2
Кроме обычной ориентации осью С, приблизительно перпендикулярной плоскости пленки, в пленках ZnO, полученных ионным распылением, наблюдается ориентация, при которой ось С или не совпадает с нормалью к пленке, пли лежит в плоскости пленки. Однако контроля за углом наклона недостаточно для того, чтобы получать пленки с ориентацией, оптимальной для возбуждения волн сдвига в пьезоэлектрических преобразователях. Ориентация осью С в плоскости пленки, имеющая место в ZnO, в пленках CdS вообще не наблюдалась, и причины ее появления в настоящее время не совсем понятны. Такая ориентация наблюдалась в пленках толщиной от 0 25 до 4 мкм, полученных трехэлектродным ионным распылением, и, по-видимому, присуща процессу зародышеобразования, а не процесс / роста. При осаждении в потоке, падающем перпендикулярно подложке, оси С отдельных кристаллитов беспорядочно распределены в плоскости пленки, а при напылении в наклонном потоке оси С выстраиваются в плоскости пленки по направлению в сторону мишени. [16]