Cтраница 5
Окислы образуются при реактивном распылении добавлением к газу нескольких процентов кислорода. Более высокая концентрация кислорода в газовой смеси приводит к образованию плотного окисного покрытия и прекращению разряда постоянного тока. Поэтому в установках с двумя электродами давление реактивного газа может меняться в очень узких пределах. В установках с тремя электродами, где поверхность мишени ниже поверхности подложки, диапазон изменения парциального давления реактивного газа значительно шире. [61]
Послесвечением газа в разряде называется явление, при котором свечение газа прекращается не одновременно с прекращением разряда через газ, а постепенно сходит на нет и окончательно пропадает лишь по истечении некоторого промежутка времени. [62]