Присоединение - электродный вывод
Cтраница 1
Присоединение электродных выводов выполняют термокомпрессионной сваркой без расплавления, нагревая зону соединения с помощью нагревателя или пропусканием тока через инструмент. Используют две схемы такого процесса. После этого приподнимают капилляр, фиксируют положение проволоки зажимом 2 и пламенем горелки обрезают проволоку ( рис. 10.45, б), образуя при этом два шарика, один из которых остается в виде хвостика, а другой используется при выполнении следующего цикла сварки. [1]
Для присоединения электродных выводов диаметром 20 мкм и более из алюминия и золота применяют термокомпрессионные иглы ТКК из сапфира с различным диаметром острия. [2]
Для присоединения электродных выводов с помощью ультразвука на установке УЗП-02 применяют более сложный инструмент ( рис. 116, е), обычно изготовляемый из твердого сплава ВКЗМ. Микропровод проходит через наклонное отверстие в инструменте и присоединяется к кристаллу выступающей частью инструмента, через которую на микропровод передается давление и ультразвуковые колебания, действующие в горизонтальной плоскости. Размер d0 соответствует определенному диаметру микропровода. Например, для микропровода диаметром 20 мкм d0 равно 50 мкм. [3]
Для присоединения электродных выводов к электродам и контактным площадкам электронно-дырочных переходов разработано несколько методов, основными из которых являются: пайка, сварка, термокомпрессионная сварка ( термокомпрессия), ультразвуковая пайка и комбинированные методы. [4]
Для присоединения электродных выводов в настоящее время создано много различных установок. [5]
Из многочисленных конструкций установок для присоединения электродных выводов к контактным площадкам и выводам ножек рассмотрим приспособление ЖК 44.07 и установку Контакт-1 А, предназначенные для термокомпрессирования электродных выводов, а также установку УЗП-02, применяемую для присоединения электродных выводов методом ультразвуковой сварки. [7]
Особым многообразием отличается инструмент для присоединения электродных выводов. Каждая установка для присоединения выводов имеет инструмент, пригодный только для нее. Конструкция инструмента определяется также условиями эксплуатации и зависит от размеров электродных выводов и контактных площадок, а также от свойств присоединяемых материалов и других специфических условий процессов. [8]
На термокомпрессионной установке Контакт-1 А для присоединения электродных выводов диаметром 10 мкм из сплава золото - серебро применяют иглы ТКП 20 - 30 из синтетического корунда ( рис. 116, в), имеющие рабочую площадку размером 20X30 мкм в виде клина с усеченными тремя сторонами. [9]
 |
Последовательность выполнения термокомпрессии сшиванием. [10] |
Описанные способы термокомпрессионной сварки предназначены в основном для присоединения довольно толстых электродных выводов к соответствующего размера контактным площадкам. Для присоединения электродных выводов из золота диаметром 10 - 12 мкм к контактным площадкам 26X70 мкм применяют третий способ, выполняемый инструментом 2 в виде клина ( иглы), изготовленного из сапфира. [11]
Кроме того, существует множество различного инструмента, предназначенного для контроля параметров полупроводниковых структур, пайки кристаллов и присоединения электродных выводов, отличительной особенностью которого являются высокая точность, малые размеры и сложность изготовления. Поэтому от наладчиков оборудования полупроводникового производства и сборщиков требуется бережное обращение с инструментом, так как плохое состояние оборудования, небрежная его наладка и даже невнимательность сборщика могут привести к поломке инструмента. [12]
Часто выбор того или иного электродного сплава, а также припоя определяется необходимым температурным интервалом всего технологического процесса изготовления прибора: создания р - п-перехода, приплавления омического контакта, монтажа кристалла на ножку, присоединения электродных выводов, герметизации корпуса прибора и пайки внешних выводов. [13]
Из многочисленных конструкций установок для присоединения электродных выводов к контактным площадкам и выводам ножек рассмотрим приспособление ЖК 44.07 и установку Контакт-1 А, предназначенные для термокомпрессирования электродных выводов, а также установку УЗП-02, применяемую для присоединения электродных выводов методом ультразвуковой сварки. [14]
Изготовление планар-ных полупроводниковых приборов включает в себя кроме создания электронно-дырочных переходов, защищенных окисным слоем, еще ряд универсальных или типовых технологических процессов, связанных с обработкой полупроводниковых материалов, процессами фотолитографии, созданием невыпрямляющих контактов, присоединением электродных выводов и герметизацией. [15]
Страницы: 1 2