Cтраница 3
Использование подобной конструкции индикатора позволяет ускорить цикл измерений. Во время проведения опытов весьма часто происходит полная закупорка отверстий. При неподвижной диафрагме окислы из отверстий удаляют, нагревая область диафрагмы до температуры, примерно на 100 С превышающей температуру забивания. Процесс растворения может идти довольно продолжительно, в то время как канавки на клапане легко промываются потоком натрия при открывании вентиля. [31]
Все испарители не обеспечивают достаточной равномерности пленки по толщине. Равномерность толщины пленок можно повысить за счет увеличения расстояния между испарителем и подложкой, но при этом уменьшается скорость напыления. В настоящее время равномерность толщины пленок на большой партии подложек достигается путем применения подколпачных устройств планетарного типа, обеспечивающих равномерное вращение подложек, закрепленных вертикально на образующих цилиндра, вокруг испарителей, расположенных по центральной оси цилиндра. При этом молекулярный поток от испарителей распространяется через неподвижную диафрагму. Такая конструкция подколпачных устройств обеспечивает уравнивание средней скорости напыления в каждой точке поверхности подложек. [32]
Чем выше начальное давление пара, тем обычно большее количество дисков устанавливается на валу турбины. Каждый диск отделан от другого неподвижной промежуточной диафрагмой, закрепленной в корпусе турбины; в диафрагме закреплены направляющие сопла. Вал турбины с насаженными на нем дисками с рабочими лопатками называется ротором, корпус турбины - статором. По мере снижения давления пара в турбине его объем увеличивается, а отсюда растет и длина рабочих лопаток и неподвижных диафрагм. Вал турбины имеет постоянное число оборотов, новые турбины обычно строятся на 3 000 об / мин. [33]
Для определения масштаба времени ( по оси абсцисс осциллограммы) применяют специальное устройство - отметчик времени. Осветитель 13 посылает световой поток через щелевую диафрагму 14 на вращающиеся диски с радиальными щелями. Число щелей на этих дисках не одинаковое, поэтому, смещая один диск относительно другого, можно добиться совпадения, например, одной щели, пяти щелей, десяти щелей. Через определенный ( установленный оператором) промежуток времени щели на вращающихся дисках 15 и 16 и на неподвижной диафрагме 14 совмещаются и через них проходит световой поток, который, отразившись от зеркала 9, через линзу 5 попадает на светочувствительную ленту в виде тонкого штриха. [34]