Cтраница 2
Установка ЭМ-519Б-более точная и производительная, чем ЭМ-519А. Обе установки отличаются от ЭМ-508 большим рабочим полем, широкими возможностями наборной диафрагмы, наличием программного устройства ее поворота, высокой производительностью и эксплуатационной надежностью. Программа вводится с бумажной перфоленты. Микрофотонаборная установка ЭМ-519Б вместе с фотоповторителем ЭМ-522А составляет комплект оборудования для изготовления фотошаблонов, соответствующих современным требованиям производства изделий микроэлектроники. Применение в качестве источника света мощных ртутных ламп ДРШ-250 позволяет экспонировать фоторезист без существенной потери производительности. [16]
Наборные диафрагмы состоят из отдельных фрезерованных лопаток, соединяемых с телом турбины с помощью вильчатого хвоста и заклепок. Они являются наиболее дорогими и в течение последних 10 - 15 лет в паровых турбинах практически полностью заменены сварными. В газовых турбинах наборные диафрагмы остаются наиболее распространенными. [17]
В зоне низких температур ( до 250 - 230 С) применяются чугунные диафрагмы с залитыми лопатками. В зоне высокого давления и высоких температур применяются литые стальные диафрагмы. Однако-литые стальные диафрагмы трудно выполнимы в связи с тем, что получается брак от перегорания тонких кромок направляющих лопаток, заливаемых в диафрагму. Однако наборные диафрагмы с цельнофрезерованными лопатками являются очень дорогостоящими, поэтому с нелью удешевления их турбостроительные заводы переходят на сварные диафрагмы. Следует оговориться, что область применения сварных диафрагм ограничивается конфигурацией канала по высоте. Для каналов, которые образованы кривыми поверхностями, имеющими один или несколько радиусов, изготовление бандажных лент и пробивка в них отверстий для лопаток весьма сложны. [18]
В зависимости от параметров рабочей среды, конструкции цилиндра и других факторов диафрагмы конструктивно выполняются по-разному. В сварной диафрагме лопатки предварительно приваривают к бандажу, в котором предусматриваются специальные профильные отверстия. После этого бандаж вместе с лопатками основными сварными швами соединяют-с телом и ободом диафрагмы. В литых диафрагмах, которые выполняют из чугуна, концы лопаток непосредственно заливают в тело и обод. В наборных диафрагмах лопатки крепят к телу диафрагмы при помощи хвостовых соединений. [19]
По показаниям индикаторов определяется величина упругой и остаточной деформации диафрагмы в результате действия на нее нагрузки. Упругая деформация должна быть меньше указанной в чертеже. Однако при испытании, кроме упругой деформации, может появиться остаточная деформация, что является нежелательным. Если при повторном обжатии остаточная деформация увеличивается, это говорит ожалой жесткости диафрагмы. Следует заметить, что при первичном оожатии диафрагмы может появиться небольшая остаточная деформация, особенно в наборных диафрагмах, где соединения на заклепках не могут представлять собой большой жесткости. [20]