Cтраница 5
Исключение составляет молибден, при температурах свыше 1800 С. Вольфрам и молибден, реагируя с остаточными парами воды или растворенным в них кислородом, могут вносить примеси в осаждаемые пленки. Испарители, приведенные на рис. 13, а и б, обычно изготавливаются из вольфрамовой проволоки диаметром 0 5 - 1 5 мм. После плавления испаряемое вещество смачивает проволоку испарителя и удерживается на ней за счет сил поверхностного натяжения. При этом желательно, чтобы испаряемое вещество для увеличения поверхности испарения и улучшения термического контакта примерно однородно распределилось вдоль проволоки. Этот процесс облегчается, если первоначальную загрузку равномерно распределить по всей длине испарителя. Равномерное распределение достигается следующими методами: электроосаждением испаряемого вещества на нить испарителя; скручиванием нити из нескольких проволок, одна из которых является испаряемым веществом; подвешиванием коротких лепестков испаряемого вещества на каждый виток спирали. Предпочтительными являются испарители, состоящие из нескольких скрученных проволок, так как они имеют большую площадь. Вследствие простоты и небольшой стоимости, проволочные испарители применяются для осаждения Al, Ni, Fe и Pt, которые, как известно, образуют сплавы с вольфрамом. В этом случае количество испаряемого вещества должно быть мало по сравнению с массой нити испарителя. Если расплавленное испаряемое вещество сосредотачивается в одном месте испарителя, то последний быстро разрушается. Даже если испаряемое вещество не образует сплавов с материалом нити, емкость проволочных испарителей невелика. [61]