Процесс - изготовление - фотошаблон
Cтраница 1
Процесс изготовления фотошаблонов для микросхем с малой и средней степенями интеграции начинается с вычерчивания фотооригиналов - послойных топологических чертежей одной микросхемы, выполненных в увеличенном масштабе ( например, 500: 1) с большой точностью с помощью специальных устройств - координатографов, работающих в автоматическом режиме в соответствии с управляющей программой, задаваемой ЭВМ. Размер фотооригинала доходит до 1 м при точности вычерчивания линий 25 мкм. [1]
 |
Координатограф для вычерчивания оригиналов. [2] |
Процесс изготовления фотошаблонов состоит из следующих основных операций: вычерчивание оригиналов, первое уменьшение ( изготовление промежуточных негативов), второе уменьшение и получение многократно повторяющихся рисунков ( эта операция называется мультипликацией), изготовление рабочих копий фотошаблонов с эталонного комплекта. [3]
Таким образом, процесс изготовления фотошаблонов является чрезвычайно трудоемким и длительным. [4]
В отечественной промышленности и за рубежом [85] процесс изготовления фотошаблонов для интегральных схем ( особенно для схем высокой степени интеграции) в связи с большой трудоемкостью и высокими требованиями к точности автоматизируется. При этом используются как специализированные автоматы управления координатографами для вычерчивания оригиналов или микрофотонаборными установками, так и системы управления на базе мини - ЭВМ. [5]
Одним из перспективных направлений в фотолитографии, позволяющим снизить стоимость и сократить многоступенчатость процесса изготовления фотошаблонов, является применение генераторов изображения. [6]
 |
Погрешности, вносимые при изготовлении диффузионных резисторов. [7] |
Как следует из табл. 2.3, обеспечение необходимых допусков на значения сопротивлений резисторов сводится к точному контролю процессов изготовления фотошаблонов, проведения диффузии и фотолитографии. Нетрудно заключить, что сравнительно легко получить пределы допусков на отношения номиналов сопротивлений. [8]
Возрастающие требования к мобильности технологии, рост номенклатуры производства интегральных схем и особенно требования, связанные с необходимостью изготовления сложных коммутационных плат для БГИС, потребовали упростить процесс изготовления фотошаблонов. [9]
Применение чертежного автомата электромеханического типа позволяет значительно уменьшить трудоемкость изготовления фотошаблонов, ликвидировать ошибки, повысить точность черчения и, следовательно, повысить точность вырезаемого изделия. Процесс автоматического изготовления фотошаблонов складывается из нескольких этапов. [10]
Рисунок может быть экспонирован на кремниевой плате, покрытой фоторезистом, непосредственно без использования фотошаблона. При этом процесс экспонирования аналогичен процессу изготовления фотошаблона. По сравнению со световым экспонированием пластины с применением фотошаблона для электронно-лучевого экспонирования требуется больше времени, так как при мультиплицировании рисунки экспонируются по одному. [11]
После того как вычислительная машина произвела сравнение выходных данных индикатора с хранящимися в ее памяти схемными параметрами, она может генерировать две программы - одну для управления генератором изображения, другую для фотоповторителя. Цифровые выходные данные интерферометров в системе контроля перемещения координатных столиков установок могут обеспечить на пульте индикатора действительное изображение разрабатываемой микросхемы. Поэтому разработчик может вносить в схему поправки с помощью фотокарандаша прямо в процессе изготовления фотошаблонов. [12]
Описанный процесс получения фотошаблонов - многоступенчатый. На каждой ступени происходит накопление дефектов в рисунке. Поэтому при производстве БИС и СБИС, характеризующихся очень малыми размерами элементов рисунка и высокой требуемой точностью его воспроизведения, число ступеней процесса изготовления фотошаблонов должно быть минимальным. Для этого оригинал выполняется с небольшим масштабом увеличения ( обычно 10: 1), размеры элементов рисунка на нем составляют десятки и даже единицы микрометров. [13]
Эта информация соответственно обрабатывается и преобразуется в удобную для введения в машину форму. Один из наиболее простых методов заключается в том, что оператор перемещает специальный механизм по столу, на котором находится эскиз схемы, а машина производит запись расположения элементов и проводников в двух-координатной системе. Однако этот метод не решает проблемы ускорения процесса изготовления фотошаблонов и не является экономичным, если рисунок схемы достаточно сложен, особенно при изготовлении шаблонов для многослойных печатных плат. [14]
Страницы: 1