Процесс - окисление - кремний
Cтраница 1
 |
Зависимости толщины окисла кремния от температуры. [1] |
Процесс окисления кремния существенно ускоряется, если он протекает в атмосфере водяного пара. [2]
 |
Конвертор для выплавки стали из чугуна. [3] |
При бессемеровании исключается надобность в подогреве содержимого конвертора по причине высокой экзотермичности процессов окисления кремния, а также марганца. [4]
 |
Распределение носителей и зонные диаграммы в МОП транзисторе с индуцированным р-каналом. [5] |
Что касается положительных ионов, то они, как показывает опыт, появляются в процессе окисления кремния и последующей фотолитографической обработки окисла ( с. Наиболее распространены ионы натрия и водорода, причем, как правило, они сосредоточены вблизи границы окисла с кремнием. [6]
При снижении температуры, например в хвостовой части сварочной ванны, сосуществующие концентрации кремния, марганца и кислорода окажутся выше равновесных и начнется процесс окисления кремния и марганца кислородом, растворенным в жидком металле. [7]
 |
Коэффициенты диффузии Р, В, Ga в Si и Si02. [8] |
В процессе окисления кремния, содержащего некоторую концентрацию примеси, в приповерхностном слое кремния, как рассмотрено в разделе 4.5.1, формируется граница раздела Si - Si02 и примесь, вследствие неравенства химического потенциала кремния и окисного слоя, перераспределяется между окисным слоем и подложкой. На практике форма распределения примеси, содержащего скачок на границе раздела, определяется скоростью окисления, температурой и коэффициентом диффузии примеси в подложку. [9]
С путем введения в печь железной руды охлаждает ванну приблизительно на 2 2 град, в то время как окисление каждой 0 01 % С газообразным кислородом, вдуваемым непосредственно в жидкий металл, повышает температуру его на 1 7 град. Когда в жидкий металл начинают вдувать кислород, ванна еще относительно холодная, поэтому могут пойти сильно экзотермические реакции, к которым в первую очередь надо отнести реакцию выгорания кремния. Это эквивалентно 1 7 Мдж ( 408 ккал); 1 кг Si, окисляясь за счет кислорода, выделяет 850: 28 30 3 кдж ( 204: 28 7 3 ккал); из этого видно, насколько эффективен процесс окисления кремния до SiCy за счет вдуваемого кислорода. Следовательно, при сгорании этого количества кремния выделится около 303 кдж ( 73000 кал) или 18 % всего тепла, требующегося для расплавления 1 т стали в электропечи. [10]
Пары воды часто специально вводят в состав окислителя кремния - это так называемое мокрое окисление. Предполагается [61], что молекулы Н20, диффундируя через пленку диоксида кремния в процессе окисления кремния, взаимодействуют с сеткой кремний-кислородных тетраэдров. [11]
Под конец процесса происходит частичное выгорание углерода чугуна. Спустя 15 - 20 мин процесс заканчивается. Конвертору придают горизонтальное положение, добавляют немного ферромарганца и ферросилиция для удаления остатков FeO и, наконец, опорожняют его от шлака и стали. Сталь выливают сначала в ковш, откуда разливают в формы, называемые изложницами, Застывая, сталь образует слитки. В одном конверторе можно производить до 40 плавок в сутки. При бессемеровании исключается надобность в подогреве содержимого конвертора по причине высокой зкзотермичности процессов окисления кремния, а также марганца. [12]
Страницы: 1