Cтраница 2
Поэтому на разных этапах зонной очистки за счет случайных эффектов компенсации удельное сопротивление материала значительно повышается и создается иллюзия достижения предельной очистки. Исследование электрофизических свойств позволяет доказать, что материал более или менее сильно компенсирован. Если же в числе прочих примесей материал содержит примесь, коэффициент распределения которой близок к единице, то после большого числа проходов удельное сопротивление очищенной части слитка оказывается значительно ниже, чем у исходного материала. Наиболее простым способом проверки эффективности процесса зонной очистки является следующий. После прохождения 10 - 15 зон через слиток определяется распределение удельного сопротивления по длине слитка; дается еще 2 - 3 прохода зоны и снова определяется распределение удельного сопротивления. Если между этими двумя замерами имеются значительные различия, то следует продолжить процесс зонной очистки. Если же это различие незначительно, то возможно, что дальнейшая очистка уже бесполезна. Определение подвижности и времени жизни носителей позволяет тогда определять качество полученного материала. [16]