Cтраница 2
Наиболее устойчивым на воздухе оказался полимер Б; энергии активации термоокислительной деструкции Е интервале температур 440 - 460 при степени разложения 50 % для полимеров В, А, Г и Б составляют соответственно 28, 31 30 и 34 ккал / моль. Наиболее устойчивыми в вакууме оказались полимеры А и Б; энергии активации по данным динамического термогравиметрического анализа для степени превра щения 15 % полимеров В, А, Г и Б соответственно равны 47 48, 47 и 50 ккал / моль. [16]
Методы расчета п, Е и Z, применяемые в случае простых кривых ТГА, могут быть использованы и при определении этих же параметров для каждого участка сложных кривых. Динамический термогравиметрический анализ в большинстве случаев позволяет определить значения суммарных кинетических параметров многостадийных процессов разложения полимеров, которые сами по себе, как правило, не дают сведений о механизме каждой отдельной стадии. [17]
Повышенная термостойкость фоторезистов является необходимым условием для получения и длительной эксплуатации в составе изделий спецтехники современных микросхем и других изделий микроэлектроники и печатного монтажа. Попытка создания подобного материала является главной целью настоящей работы. Для сравнительной оценки термостойкости был использован метод динамического термогравиметрического анализа образцов покрытий, имеющих оптимальные технологические и эксплуатационные характеристики ( состав 1, состав 2, состав 3), и пленок соответствующих ненасыщенных полиамидокислот в воздушной среде. [19]