Ввод - вращение
Cтраница 2
На рис. 5 - 50 показан ввод вращения с диаметром вала 159 мм, в котором откачивается полость, заключенная между двумя тефлоновыми кольцевыми прокладками, внутренняя часть последних заполнена резиной. При давлении в объеме, заключенном между прокладками, равном 5 - 10 3 мм рт. ст., IB вакуумной камере можно получить давление порядка 3 - 10 - 7 мм рт. ст. Размер по высоте кольцевых прокладок при сжатии уменьшается от 6 1 до 5 6 мм. [16]
На рис. 5 - 36 показаны вводы вращения фирмы Leybold, а в табл. 5 - 7 дана их характеристика. [17]
В табл. 5 - 11 даны размеры этих вводов вращения. [18]
Вакуумноплотные вводы высокого и низкого напряжения, а также вводы вращения осуществляются через базовую плиту. Непосредственно над плитой расположена карусель испарителей 5, а над ней карусель масок и карусель подложек. Расположенные над опорным диском 3 шестерни 7 служат для передачи вращения каруселям, для смены масок и подложек. Над опорным диском расположен также кварцевый измеритель 6 толщины пленки. В качестве изоляции используется фторопласт, обладающий малым газовыделением. [19]
 |
Удаление азота из вольфрамовых и медных противоэлектродов.| Усредненные градупровоч-ные графики определения азота. [20] |
В камере, имеющей два круглых столика на двух вводах вращения, возможен анализ нескольких образцов в ряде точек, и легко осуществим искровой отжиг противоэлектродов на электрод из того же металла, установленный вместе с образцами. Однако в этой конструкции возникают трудности, связанные с установкой противоэлектрода по высоте и установкой межэлектродного расстояния. [21]
Поворот выведенного образца относительно вертикальной оси камеры производится с помощью одного из сильфонных вводов вращения ( 15), которые размещены на фланце ДУ-50. Угол поворота ограничивается только опасностью перекручивания теплопровода и соединительных электрических проводов. [22]
 |
Передача вращения с помощью наружного магнита. [23] |
На рис. 5 - 53 в показана принципиальная схема, а на: рис. 5 - 53А - внешний вид ввода вращения фирмы Va-rian. Вращающийся магнит / заставляет вращаться вал 2, находящийся внутри камеры. Максимальная скорость вращения составляет 500 - 750 об / мин. [24]
Манжеты в этих конструкциях изготовляются из вакуумной резины марок 1015 и ИРП-2044, имеющих повышенную маслостойкость. Вводы вращения, показанные на рис. 83, а и м, применяются сравнительно редко в вакуумных установках из-за ненадежности в работе. [25]
Вводы вращения применяемые в вакуумных установках с двойными стенками и охранным вакуумом ( см. разд. На рис. 5 - 51 показан один из таких вводов вращения. На внутренней стенке 4 имеется коническое седло, на которое вал опирается шаровой поверхностью; при этом обеспечивается уплотнение со стороны высокого вакуума. Высокий вакуум, поддерживаемый в полости между стенками, дает возможность получить сверхвысокий вакуум в основной камере. [26]
 |
Схема вакуумной камеры. [27] |
При этом работа не ограничивалась временем, поскольку через оправку ввода вращения обрабатываемой заготовки непрерывно прокачивалась охлаждающая жидкость, и тепловой режим в месте уплотнения быстро стабилизировался на допустимом уровне. Спектр масс газа в камере практически не зависел от скорости вращения оправки. Это дает возможность насосу работать в нормальном режиме и предотвращает быстрое расширение атмосферы в камере. Одновермешго происходит откачка полости охранного вакуума ввода шпиндельной оправки 5 в камеру. Откачка до давления 5 Па продолжается 7 мин. [28]
Если в камеру помещают всего два электродержателя - один для образца и другой для противоэлектрода, то установка, ломимо ряда других недостатков, оказывается крайне малопроизводительной. Большая производительность обеспечивается применением камеры с карусельным столиком на одном вводе вращения, по окружности которого расположены пары образец - противоэлектрод. Однако такая конструкция не позволяет фотографировать спектры ряда точек на поверхности образца и не дает усредненного значения содержания газа в образце. Поэтому возникает необходимость многократного повторения полного цикла анализа. [29]
Вводы вращения, применяемые в промышленности. Вводы для передачи вращательного или поступательного движения выпускаются различными фирмами, разрабатывающими вакуумное оборудование. Ниже рассматриваются примеры конструкций вводов вращения. [30]
Страницы: 1 2 3