Ввод - движение
Cтраница 2
К вакуумным характеристикам вводов движения относятся: 1) величина предельного вакуума, который может быть достигнут в вакуумном объеме при применении данного ввода движения; 2) влияние работающего ввода на состав остаточной газовой среды в вакуумном объеме; 3) температурные пределы прогрева ввода с целью его обезгаживания и 4) максимально допустимая температура ввода при сохранении его работоспособности в случае необходимости передачи движения в горячие зоны вакуумного объема. [16]
Совокупность средств для получения вакуума ( механические и диффузионные насосы), запорно-регулирующих ( затворы, краны, вентили, натекатели и др.) и вспомогательных ( электрические вводы, смотровые окна, вводы движения и др.) устройств вакуумметров, ловушек и других элементов, необходимых для создания и поддержания требуемой степени разрежения в откачиваемом объеме, соединенных между собой вакуумпроводами, называется вакуумной системой. [17]
 |
Вакуумная система. [18] |
Духа; 4 - дросселирующий затвор; 5 - трубопровод форвакуумной откачки; 6-чатвор байпасной линии откачки; 7 - байпасная линия откачки; - манометр Пирани; 9-затвор форвакуум - Ной линии откачки; 10 - диффузионный насос; / / - затвор с ловушкой; 12 - вакуумная камера; 13 - электрический токопровод; 14 - стержневое уплотнение ввода движения; 15 - датчик магниторазрядного манометра; 16 - смотровое окно. [19]
Во всех вентилях, описанных в предыдущей части параграфа, используют прокладки из эластомеров, и следовательно, они непригодны для сверхвысоковакуумных систем. Для последних систем необходимы прогреваемые вентили, изготовленные полностью из металлов и способные выдерживать прогрев по крайней мере до 400 С. Используемые для уплотнения вводов движения прокладки из эластомеров следует заменить конструкциями на основе металлических сильфонов. Замена эластомеров-металлическими прокладками возможна лишь в некоторых из описанных ранее конструкций. Наиболее широкое распространение нашли прогреваемые вентили, аналогичные по конструкции дисковому вентилю, представленному на рис. 82, а. На седле протачивается клиновидный выступ, и перекрытие осуществляется вдавливанием в седло медной прокладки или поршня из какого-либо мягкого металла. Усилие, необходимое для получения герметичного уплотнения, достаточно велико и возрастает еще больше при повторных перекрытиях. Поэтому прогреваемые вентили бывают обычно небольших размеров с проходным отверстием диаметром не более 50 мм. Срок службы устройства ограничен всего несколькими десятками или в некоторых случаях ( в зависимости от конструкции, требуемого усилия и условий прогревания) тысячью перекрытий. [20]
Страницы: 1 2