Cтраница 4
Свойства тонких пленок тантала и нитрида тантала. [46] |
Малая скорость осаждения способствует проявлению геттерных свойств тантала, в результате чего пленки содержат примеси продуктов взаимодействия Та с компонентами газовой среды в рабочей камере. Пленки тантала малой плотности представляют интерес для применения в качестве резистивных. [47]
Малая скорость осаждения способствует проявлению геттерных свойств тантала, в результате чего пленки содержат примеси продуктов взаимодействия Та с компонентами газовой среды в рабочей камере. Пленки тантала малой плотности представляют интерес для применения в качестве резистивных. Однако надо помнить, что пленки тантала малой плотности интенсивно взаимодействуют с кислородом; это приводит к существенной временной нестабильности р и ар. Кроме того, при осаждении этих пленок свойства их получаются невоспроизводимыми. [48]
Свойства пластовых смесей определяются совокупным проявлением свойств компонентов и зависят от особенностей межмолекулярного взаимодействия компонентов, образующих смесь. [49]
Турбулентность является особым и очень важным проявлением свойства изменения. [50]