Cтраница 4
Перспективной для использования в производстве ИС является сухая микролитография, при которой не используются жидкие реактивы. Она должна способствовать повышению качества и выхода приборов, упрощению технологии и повышению ее уровня. Сухая микролитография заключается в сухом нанесении резиста ( например, сублимацией или путем синтеза полимерной пленки из мономеров на подложке), сухом проявлении ( например, экспозиционном, термическом, плазменном), сухом травлении подложки и удалении резиста. Две последние операции удается провести с помощью плазмы, две первые находятся в стадии интенсивной разработки. [46]
Эти аппараты, используются для дублирования апертурных перфокарт. Дублирование микрофильма с рулона на рулон является сложным процессом и требует более дорогого оборудования. Но там, где процесс микрофильмирования связан с сухим проявлением ( Kalvar), копирование можно практически осуществлять проще. [47]
Эти аппараты используются для дублирования апертурных перфокарт. Дублирование микрофильма с рулона на рулон является сложным процессом и требует более дорогого оборудования. Но там, где процесс микрофильмирования связан с сухим проявлением ( Kalvar), копирование можно практически осуществлять проще. [48]
Экспонирование бумаги производится по мере прохождения ее в окне и при такой координации луча ЭЛТ, которая обеспечивает постепенную передачу изображения. Для проявления бумаги внутри копировального устройства имеется валик с подогревом. Другим недостатком является то, что светокопия с сухим проявлением со временем темнеет, если ее оставить при обычном освещении. [49]
Существуют различные решения этого вопроса. Одним из них является создание электрофотографической печати. Устройство содержит, помимо знаковой ЭЛТ, электрофотографический узел. Он состоит из вращающегося барабана-цилиндра, покрытого слоем светочувствительного материала - селена, лентопротяжного механизма и приспособления для сухого проявления и закрепления изображения. [50]