Cтраница 2
Эти контакты должны быть изготовлены предварительно или отдельным осаждением металлической пленки, или нанесением металлической пасты с последующим ее вжиганием. К датчику подсоединяется пара металлических зондов для снятия зависимости тока от напряжения внутри вакуумной системы. Однако, несмотря на легкость измерения, такой метод измерения и контроля толщины металлических пленок имеет свои недостатки. Они связаны с тем, что при начальных стадиях роста пленка состоит из зародышей и плохо связанных металлических островков ( см. гл. Даже когда пленка становится сплошной, она имеет область толщин, где наблюдается изменение удельного сопротивления вследствие уменьшения поверхностного рассеяния электронов ( см. гл. Более того, при осаждении первых нескольких сотен ангстрем зависимость сопротивления пленки от толщины подвержена влиянию величины приложенного электрического поля ( см. рис. 18 гл. Однако эта величина в значительной мере зависит от давления остаточных газов, скорости осаждения и температуры подложки. Поэтому значения толщин пленок, полученные из измерений сопротивления, редко бывают точными. Учитывая эти неопределенности, метод измерения сопротивления используют главным образом для контроля и управления процессом производства пленочных резисторов. В этом случае толщина пленки и постоянство удельного сопротивления имеют второстепенное значение. При фиксированном отношении l / w для данного датчика по измерениям тока и напряжения может быть определено поверхностное сопротивление, и необходимая величина Rs может быть получена безотносительно к изменению р в пленке, поскольку эти изменения можно компенсировать за счет ее толщины. В простейшем виде сопротивление пленки вызывает разбаланс моста и регистрируется самописцем. Когда сопротивление достигает заданной величины, мост балансируется и включается питание соленоида, управляющего заслонкой. Поскольку в процессе осаждения сопротивление датчика уменьшается на много порядков, то соответственно меняется и чувствительность мостовой схемы. Для устранения этого недостатка Беннет и Фланаган [332] использовали в плече сравнения переменное сопротивление, величина которого автоматически уменьшалась ступенями при переходе через точку баланса. [16]