Cтраница 1
Развитие микроминиатюризации и интегральных схем привело к существенному усложнению функции блоков и резкому увеличению их типов в системе. Это обстоятельство усложнило выбор типов блоков, которые целесообразно стандартизировать. [1]
Вопросам развития микроминиатюризации в последнее время уделяется особенно большое внимание. Постановка массового производства микроминиатюрной радиоаппаратуры различного назначения является одной из важнейших задач, стоящих перед отечественной промышленностью. [2]
С развитием микроминиатюризации появляется тенденция использовать преимущественно позитивный резист. Это можно объяснить, тем, что при использовании негативного резиста возможны темно вые реакции, физические изменения типа усадок, обусловленные наличием мостиков, и появление перемычек между соседними участками за счет разбухания резиста при проявлении. [3]
![]() |
Чувствительность рентгеновских и электронных резистов. [4] |
С развитием микроминиатюризации появляется необходимость использовать лучи с высокой энергией, для которых непригодны резисты с низкой чувствительностью и невысокой разрешающей способностью. В связи с этим были начаты исследования и разра-ботка других высокомолекулярных соединений взамен старых. В результате исследований было обнаружено, что высокомолекуляр-ные соединения, являющиеся негативными резистами, обладают, как правило, превосходной чувствительностью, но низкой разрешающей способностью, а соединения, являющиеся позитивными резистами, - превосходной разрешающей способностью, но низкой чувствительностью. [5]
![]() |
Растворимость металлов. [6] |
С развитием микроминиатюризации стали разрабатывать и по-степенно вводить в практику сухие методы травления Это объясня-ется тем, что на определенном этапе мокрые способы травления приводят к появлению перемычек, связанных с плохим проникнове нием травильного раствора в узкие зазоры, и к увеличению подтрав-ливания, что снижает стабильность получаемых размеров. Кроме того, реактивы неудобны в обращении и опасны для здоровья. [7]
По мере развития микроминиатюризации конструктивную единицу аппаратуры ОВЧ диапазона начали составлять микроминиатюрные ОВЧ схемы. [8]
На первом этапе развития микроминиатюризации ставилась одна задача - повышение плотности монтажа элементов на несколько порядков по сравнению с обычной классической аппаратурой на печатных платах и стандартных ( радиоэлементах. [9]
Дальнейшим rnaroifi в развитии микроминиатюризации являются разрабатываемые в настояЦее вре. [10]
Другим фактором, затрудняющим развитие микроминиатюризации, является то, что рабочая частота не должна превышать нескольких сотен мегагерц. Наличие паразитных связей не позволяет пока использовать микросхемы на более высоких частотах. [11]
Еще одним фактором, сдерживающим развитие микроминиатюризации, является ограничение частоты величиной порядка нескольких сотен мегагерц. Появление паразитных связей не позволяет в настоящее время использовать микросхемы на более высоких частотах. [12]
В радиоэлектронной аппаратуре также применяются микроэлементы на основе микропровода, которые способствуют развитию микроминиатюризации. Микропроводом называют литую микропроволоку в стеклянной изоляции. [13]
![]() |
Схематичное изображение процесса получения сплавного р-л-пере. [14] |
Используют также метод газовой диффузии в твердый полупроводник. В связи с развитием микроминиатюризации радиоаппаратуры и, в частности, для создания твердых схем диффузия находит себе применение в сочетании с напылением проводящих пленок на том же кристалле. [15]