Cтраница 3
С помощью прецизионной оптико-механической установки фотошаблон и пластина сближаются на очень близкое расстояние, и рисунок фотошаблона совмещается с рисунком, уже существующим на пластине под слоем фоторезиста. Для первого фотошаблона никакого совмещения не требуется. В более старых технологиях совмещение последовательных слоев осуществлялось благодаря использованию бинокулярного микроскопа ( с двойными линзами) и методов прецизионного контроля размещения пластины относительно фотошаблона. В новых технологиях такое совмещение выполняется автоматически с помощью реперных точек на пластинах. [31]
Накопление энергии упругой деформации при сдвиговом превращении может оказаться настолько большим, что превысит разницу термодинамических потенциалов фаз и рост мартенситного кристалла прекратится. С изменением температуры и давления изменяются и термодинамические потенциалы, что может привести к росту или сокращению мартенситного кристалла. Напряжения, возникающие при росте мартенситного кристалла, могут стимулировать зарождение новых кристаллов, и, таким образом, мартенсит-ные превращения могут быть автокаталитическими. Результатом автокаталитического характера превращения яв - ляется образование структуры с характерным зигзагообразным размещением пластин. [32]