Предельное разрежение
Cтраница 3
АЯ Qp процесса [ А ] - ( А), где квадратные скобки относятся к кристаллу, круглые к газу. Конечное состояние должно отвечать предельному разрежению газа, поэтому, вообще говоря, требуется вводить поправки на неидег газа в условиях опыта. [31]
Производительность системы откачки вентиля зависит не только от производительности самого насоса, но и от сопротивления труб, соединяющих яасос с вентилем. Рассматриваемый насос / может создать предельное разрежение до Ю-3-10-2 мкм рт. ст. Наибольшее выходное давление - 1 2 - 1 6 мм рт. ст., и указанное предельное разрежение обеспечивается при мощности нагревателя 800 вт. С уменьшением нагрева эти величины снижаются. [32]
Константа в показателе экспоненты Se / V обычно бывает порядка 1 с - Ч Учитывая в уравнении ( 22) только второй член, получаем, что давление в системе должно падать на порядок приблизительно через каждые 2 с. На практике же для достижения предельного разрежения приходится затрачивать несколько часов, поскольку газовая нагрузка в течение этого процесса откачки определяется в основном нестационарными процессами Q ( /), описываемыми в уравнении ( 22) третьим слагаемым. [33]
Давление измеряют через каждые 3 мин откачки до установления предельного разрежения. Данные занести в таблицу. [34]
 |
Схематическое изображение источников остаточных газов, выделяемых вакуумными материалами. [35] |
Процессы десорбции, диффузии и проницаемости конструкционных материалов имеют в вакуумной технологии первостепенное значение, поскольку именно они противодействуют откачивающему действию насосов. При отсутствии течей эти процессы вместе с выделением газа из насоса определяют предельное разрежение и состав атмосферы остаточных газов системы. Следовательно, при конструировании вакуумных систем и при анализе возможности взаимодействия остаточных газов с осаждаемыми пленками важно знать свойства материалов, определяющие процессы газоотделения. [36]
 |
Соединения стеклянного колпака с базовой плитой с помощью. [37] |
Поскольку скорости иатекания пропорциональны разности давлений на длине отверстия или канала, то предельное разрежение, очевидно, может быть улучшено при уменьшении внешнего давления. Это осуществляется с помощью двух концентрических кольцевых прокладок. [38]
Поочередно открывая и закрывая краны К % и Кз, впустить в высоковакуумный баллон некоторое количество воздуха из форвакуумного баллона и вновь произвести измерения с помощью манометра Мак-Леода, термопарного и вибрационного манометров. Эту операцию повторить несколько раз, постепенно изменяя давление в высоковакуумном баллоне от предельного разрежения до давления в форвакуумном баллоне. [39]
При рациональном использовании механич. Масштабы воздухообмена, осуществляемые этим путем, часто бывают более чем достаточны для предельного разрежения газовых и прочих вредностей. Поэтому темп-рный режим рабочих помещений находится в прямой зависимости от регулирования воздухообмена. Потребность же в воздухообмене выражается часто 12 - 15-кратным обменом даже в зимних услови-нх, летом же - свыше 40 обменов в час. Для зданий объемом 0 5 млн. м3 это составляет более 20 000 т воздуха в час, что для меха-иич. Движение воздуха через отверстия мод влиянием разности темп-р внутри и вне помещений обусловливается разностью давлений ( располагаемый напор) у отверстий. [40]
В установке не должно быть материалов, упругость паров к-рых при 500 С превышает предельное разрежение, наиб, широко используются нержавеющие аустенитные стали. [41]
Производительность системы откачки вентиля зависит не только от производительности самого насоса, но и от сопротивления труб, соединяющих яасос с вентилем. Рассматриваемый насос / может создать предельное разрежение до Ю-3-10-2 мкм рт. ст. Наибольшее выходное давление - 1 2 - 1 6 мм рт. ст., и указанное предельное разрежение обеспечивается при мощности нагревателя 800 вт. С уменьшением нагрева эти величины снижаются. [42]
Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка, заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до ДО-4 мм рт. ст. и нагретый до 200 С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10 - 10 мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения ДО-11 мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 - 8 - 10 - 9 мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [43]
В качестве примера на рис. 2 - 7 схематически показана система централизованной предварительной откачки с тремя линиями трубопроводов. Линия А предназначена для первоначальной откачки рабочих объемов установок от атмосферного давления до 1 мм рт. ст. Линия Б предназначена для создания в системе разрежения 5 - 10 - 2 мм рт. ст. При этом давлении могут быть включены паро-масляные насосы. Линия В имеет то же самое предельное разрежение и предназначена для обеспечения бесперебойной работы паро-масляных насосов. Каждая линия откачивается отдельным механическим насосом. Кроме того, имеется запасной насос, который в случае выхода из строя основного насоса может быть подключен к любой линии. [44]
Насосы высокого вакуума подразделяются на ротационные и пароструйные. Ротационные насосы могут начинать работу с атмосферного давления. Производительность их находится в пределах от 30 до 150 л / мин, а предельное разрежение, создаваемое ими, достигает 10 - 4 мм рт. ст. Ротационные насосы имеют либо самостоятельное применение, либо используются для создания предварительного разрежения при применении насосов высокого вакуума. [45]
Страницы: 1 2 3 4