Cтраница 5
Однако для практики травления это не имеет значения. Установлено, что трави-тели, выявляющие первичную структуру, одновременно дают картину распределения фосфора. [61]
Экспериментально изучено радиальное распределение примеси фосфора в монокристаллах кремния, выращенных в асимметричном тепловом поле. Установлено, что с увеличением асимметрии теплового поля резко ухудшается радиальная однородность распределения фосфора, что связано с эффектом оплавления кристалла. Получена зависимость, связывающая скорость вращения и выращивания кристалла с величиной асимметрии теплового поля. Выбор параметров выращивания кристаллов в соответствии с полученной зависимостью позволяет исключить эффект оплавления и значительно улучшить радиальное распределение примеси. [62]