Распыление - материал - катод
Cтраница 1
Распыление материала катода в высокочастотном разряде, так же как и в разряде постоянного тока, обусловлено ударами положительных ионов о стенки катода и зависит от числа бомбардирующих электрод ионов и их энергии. [1]
Наблюдается жестчение газа, заключающееся в распылении материала катода и поглощении наполняющего баллон газа, что оказывает некоторое влияние на уход во времени характеристик и параметров. Интенсивное распыление материала катода происходит при переходе нормального тлеющего разряда в аномальный, в связи с чем повышается плотность тока и падение напряжения на тиратроне. В тиратроне тлеющего разряда переход в режим аномального разряда недопустим, так как резко снижается долговечность и изменяются характеристики и параметры. [2]
Однако во многих случаях бомбардировка положительными ионами приводит к столь быстрому распылению материала катода, что сама применимость понятия температуры поверхности может стать сомнительной. [3]
Долговечность приборов с газовым разрядом ограничивается, как правило, распылением материала катода, что приводит к увеличению тока утечки и коротким замыканиям между электродами, уменьшению выхода света из индикатора, уменьшению давления газа. Основными способами увеличения срока службы ГРИ являются уменьшение рабочего тока ( и соответственно снижение яркости) или введение в ячейку некоторого количества ртути, что придает процессам деградации в ячейке существенно иной характер. [4]
Ионы легких газов ( водород, дейтерий, гелий) не вызывают заметного распыления материала катода. Для них более существенным является второй механизм откачки: ионы легких газов, имеющие малые размеры, могут внедряться в матерал катода и диффундировать в него. Таким образом, быстрота действия магнитного электроразрядного насоса зависит от рода газа или пара. [5]
При большой напряженности поля положительные ионы движутся ускоренно по направлению к катоду и ударяют его с энергией, достаточной для распыления материала катода. Распыленный металл осаждается на близлежащих поверхностях и может быть причиной загрязнения соседних электродов и запыления диэлектриков. [6]
 |
Зависимость интенсивности линий атомов инертных газов от давления. [7] |
При интерпретации указанных особенностей влияния рода и давления газа на излучение линий металла в полых катодах необходимо учитывать влияние газа на процесс распыления материала катода, на диффузию атомов из катода и на возбуждение паров металла в плазме разряда. [8]
 |
Градуировочные кривые. [9] |
Катодные пластины желательно покрывать слоем то-риевого или циркониевого порошка; к этому мероприятию побуждают следующие обстоятельства: три прохождении больших разрядных токов пластины катода подвергаются сильной ионной бомбардировке, ведущей & распылению материала катода и образованию тонких металлических налетов на стекле колбы, опасных в отношении образования утечек; торий и цирконий являются металлами, обладающими наибольшей устойчивостью против распыления под воздействием ионной бомбардировки. [10]
Сущность катодного распыления заключается в бомбардировке катода, изготовленного из распыляемого материала, ионизированными атомами газа. Бомбардировка приводит к распылению материала катода в атомарном состоянии. [11]
Многоатомные газы, пары воды, углекислый газ, аммиак, углеводороды, по-видимому, диссоциируют в разряде. Ионы осколков молекул также вызывают распыление материала катода. [12]
 |
Энергетическое распределе ние ионов, достигающих катода. [13] |
Как уже указывалось ранее, в экспериментах по ионному распылению используется аномальный разряд. Это главным образом объясняется тем, что в нормальном разряде для получения нужных скоростей распыления материала катода плотность тока слишком низка; кроме того, вследствие низкой величины падения напряжения в нормальном разряде коэффициенты распыления также малы. [14]
 |
Устройство безнакального газотрона.| Вольт-амперная характеристика безнакального газотрона. [15] |
Страницы: 1 2