Cтраница 1
Распыление вещества и нанесение покрытия происходит в результате эрозии вкладыша при взаимодействии его с газоразрядной плазмой. Частицы диэлектрика, в данном случае S1O2, уносятся потоком аргона и осаждаются на нагретой до 900 - 1100 С подложке. [2]
Поскольку процесс распыления вещества носит взрывообразный характер, большое значение имеет время выделения энергии на электродах. [4]
Рассматривается пригодность метода распыления вещества ионным лучом чения слоев металлов, диэлектриков и полупроводников. [5]
Вспомогательные приспособления на кранах против распыления вещества при внезапном падении вакуума совершенно излишни. [6]
Хартманна, в которой происходит распыление вещества. Значение давления в начальный момент взрыва в камере Хартманна немного превышает атмосферное давление - инициирующий импульс сжатого воздуха предназначен для рассеивания частиц пыли. [7]
Имеется еще одно различие между распылением вещества при помощи аэрозольной упаковки и обычным пульверизатором. Размеры частиц, полученных при помощи аэрозольной упаковки, в отличие от частиц, полученных обычной пульверизацией, колеблются в весьма небольших пределах. [8]
Осторожно эвакуируют прибор, чтобы избежать распыления вещества, и затем, нагревая реторту а электрической лени, медленно поднимают температуру до начала сублимации. Сублимация обычно начинается при температуре 50 - 150 и давлении 10 - 4 - 10 - 5 мм. Вещество не должно плавиться. Записывают температуру и давление, при которых идет сублимация. [9]
Идеальным методом получения надежных результатов оказалось распыление вещества в высоком вакууме с помощью пучков ионов, в частности, с помощью пучков ионов, разделенных по массам. Однако для получения тонких пленок такое распыление используется редко. [10]
Коэффициент распыления не зависит от времени распыления вещества, плотности ионного тока и давления газа. Изменение коэффициента распыления N с увеличением Е происходит по сложному закону. Одни авторы рекомендуют считать, что N: Е ( при энергии до нескольких сотен электроновольт), другие, что N In Е для энергии в несколько килоэлек-троновольт. При дальнейшем увеличении энергии наступает максимум N, а далее коэффициент распыления уменьшается с ростом Е, что объясняется увеличением потерь на неупругие соударения. Nmax сдвигается в сторону больших значений Е при увеличении массы тг. [11]
Ионы, образовавшиеся в источнике масс-спектрометра при распылении вещества, разделяются по массам и детектируются фотопластинкой. Поэтому метод вакуумной искры, как и масс-спектрометрия с ионной бомбардировкой, объединяет в единый процесс препарирование слоя и регистрацию содержащихся в нем примесей. [12]
НАСОС, машина для подъема и перемещения, а также распыления вещества. [13]
При этом происходит выделение Н20, СО и СС 2, сопровождающееся распылением вещества. Препарат нагревают до 450 С, чтобы полностью превратить в оксид. [14]
Воздушный аэрозоль ( пульверизатор) представляет собой основную форму аэрозоля и предназначен для распыления вещества в воздух. Примером могут служить аэрозоли, освежающие воздух или действующие против насекомых. [15]