Интенсивное катодное распыление

Cтраница 1

Интенсивное катодное распыление приводит к напылению металла на стенки, причем распыляемый металл также интенсивно поглощает откачиваемые газы. При этом не наблюдается состояния насыщения, так как слой напыленного металла непрерывно возобновляется. [1]

Однако в полупериоде обратной полярности идет очень полезный процесс - интенсивное катодное распыление пленки оксида алюминия - благодаря бомбардировке поверхности детали положительными ионами. [2]

Степень катодного распыления зависит главным образом от массы положительных ионов, которые в процессе сварки бомбардируют катод. Например, в среде аргона наблюдается более интенсивное катодное распыление, чем в среде гелия. [3]

Функции распределения электронов по энергиям в полом катъде при различных давлениях аргона и токе 5 мл.| Охлаждаемый полный катод ( а и температура газа в нем как функция тока ( б. [4]

Электронная концентрация в разряде обычно невелика и составляет 1010 - 1012 см-3. Благодаря высоким скоростям ионов в полом катоде наблюдается достаточно интенсивное катодное распыление металла и даже при низких температурах линии материала катода интенсивно светятся. При определенных условиях их яркость превосходит яркость линий инертного газа, служащего носителем разряда. [5]

Охлаждаемый полый катод. [6]

Разделенные по массам ( точнее по М / е) и сфокусированные ионные пучки необходимо принять каждый в отдельный, по возможности замкнутый, объем ( приемный карман - 6, 7 на рис. 7.1.1), вход в который размещен в фокусе соответствующего ионного пучка. От приемных карманов должно отводится выделяющееся тепло, необходима возможность контроля качества фокусировки ионных пучков, точности наводки масс-спектра на соответствующие карманы и его удержания в оптимальном положении в течение всего процесса накопления. Карманы должны быть сделаны с учетом интенсивного катодного распыления поверхностей, принимающих ионы, и защищены от загрязнения другими изотопами или не разделенным веществом. Все эти функции выполняет ионный приемник - второй важный узел сепаратора. Приемник обычно представляет собой жесткий блок изолированных друг от друга ( или не изолированных) карманов ( коробок), смонтированный на платформе, способной перемещаться в направлении продольной оси прибора ( указано стрелкой на рис. 7.1.1) для совмещения входов в карманы с фокусами ионных пучков. Реперные электроды 8 позволяют контролировать положение спектра, качество фокусировки, правильность наводки. [8]

Одним из наиболее наглядных способов оценки защитных свойств является определение диаметра зоны катодного распыления при возбуждении дуги переменного тока между вольфрамовым электродом и свариваемым металлом. В период, когда катодом является свариваемый металл, происходит вырывание-частиц металла с поверхности сварочной ванны и соседних зон относительна холодного металла. Степень катодного распыления зависит от массы положительных ионов, которые при сварке бомбардируют катод. Так, в среде аргон наблюдается более интенсивное катодное распыление, чем в среде гелия. [9]

Одним из наиболее наглядных способов оценки защитных свойств является определение диаметра зоны катодного распыления при возбуждении дуги переменного тока между вольфрамовым электродом и свариваемым металлом. В период, когда катодом является свариваемый металл, происходит вырывание частиц металла с поверхности сварочной ванны и соседних зон относительно холодного металла. Степень катодного распыления зависит от массы положительных ионов, которые при сварке бомбардируют катод. Так, в среде аргона наблюдается более интенсивное катодное распыление, чем в среде гелия. [10]

Защитное свойство струи инертного газа зависит от чистоты газа, параметров струи и режима сварки. Одним из наглядных способов оценки защитных свойств является определение диаметра зоны катодного распыления при возбуждении дуги переменного тока между вольфраме -, вым электродом и свариваемым металлом. В период, ког -; да катодом является свариваемый металл, происходит вырывание частиц металла с поверхности сварочной ванны и соседних зон относительно холодного металла. Степень катодного распыления зависит главным образом от массы положительных ионов, которые в процессе сварки бомбардируют катод. Например, в среде аргона наблюдается более интенсивное катодное распыление, чем в среде гелия. [11]

Защитное свойство струи инертного газа зависит от чистоты газа, параметров струи и режима сварки. Одним из наглядных способов оценки защитных свойств является определение диаметра зоны катодного распыления при возбуждении дуги переменного тока между вольфрамо -; вым; электродом и свариваемым металлом. В период, ког -; да катодом является свариваемый, металл, происхрдит вырывание частиц металла с поверхности сварочной Чванны и соседних зон относительно холодного металла. Степень катодного распыления зависит главным образом от массы положительных ионов, которые в процессе сварки бомбардируют катод. Например, в среде аргона наблю -; дается более интенсивное катодное распыление, чем в среде гелия. [12]

Основным механизмом возбуждения и ионизации атомов в полом катоде являются неупругие столкновения с электронами. Заметную роль в ионизации, а в ряде случаев и в возбуждении атомов исследуемого вещества, могут также играть соударения с возбужденными атомами инертных газов, находящихся в долго-живущих ( метастабильных) состояниях. Вследствие этого средняя энергия электронов, характеризуемая электронной температурой, в разряде с гелием выше, чем с другими инертными газами. Поэтому в разряде с гелием удается получать спектры трудновозбудимых элементов и их ионов. Наоборот, в случае легковозбудимых элементов лучшие результаты дает использование более тяжелых газов, например аргона, поскольку они вызывают более интенсивное катодное распыление. [13]

Страницы: 1