Cтраница 2
Котел БКЗ-420-140. [16] |
Основной пароперегреватель состоит из пяти ступеней в каждом газоходе, включая радиационную ступень в виде горизонтальных лент по периметру каждой полутопки, расположенных под пережимом. Каждый из потоков разделен на два параллельных полупотока с независимым регулированием температуры пара впрыском собственного конденсата в двух точках. [17]
Схема газовакуумной системы для регулирования температуры облучения. [18] |
В верхней части чехловая труба сообщается с газовакуумной коммуникацией. Регулирование температуры образцов, облучающихся в материаловедческих каналах, производится с помощью газовакуумной системы, схема которой показана на рис. 2.5. ГВС позволяет производить независимое регулирование температуры в 18-ти экспериментальных каналах. [19]
Образующиеся при их взаимодействии пары ВеС12 и Na попадают в зону с более низкой температурой, что способствует обратной реакции с выделением Be. Процесс проводится в стальной, выложенной молибденовым листом трубе, помещенной в кварцевую трубу. Кварцевая труба снабжена трехсекционной обмоткой, обеспечивающей независимое регулирование температуры в зонах стальной трубы: в испарителе, где помещается лодочка с NaCl; в реакторе ( зона контакта NaCl с техническим Be); в конденсаторе, где выделяется металлический Be. Из исходного технического металла с содержанием 94 % Be был получен бериллий, в котором обнаружено 0 07 % Fe, менее 0 01 % Al, Mg, Mo и переменное количество марганца ( 0 1 - 0 3 %), связанное с наличием его в материале реактора. [20]
В последние годы этот метод обогрева практически вытеснил другие вследствие таких преимуществ, как чистота, легкость монтажа, возможность работы в широких пределах изменения температур, эффективность нагрева, экономичность. При электрическом обогреве на цилиндре и головке экструдера крепятся нагреватели сопротивления бандажного типа или индукционные нагреватели, работа которых регулируется с помощью термопар или термометров сопротивления, установленных в стенках цилиндра или головки. Обычно экструдер имеет несколько тепловых зон с независимым регулированием температур в каждой. При этом обеспечивается определенный градиент температур от загрузочной секции цилиндра до головки, который примерно соответствует градиенту температур в перерабатываемом материале. [21]
В прошлом, динамическая структура всего процесса каталитического крекинга не позволяла производить регулирование технологических параметров поодиночке, так как изменение одного из них немедленно влекло за собой изменение нескольких других. Система охлаждения катализатора и регулирования температуры в регенераторе позволяет осуществить независимое регулирование температуры сырья в реакторе без изменения кратности циркуляции катализатора, и наоборот. Наглядный пример приведен в таблице 2, иллюстрирующей воздействие новой системы охлаждения катализатора на работу установки вцелом. [22]
Схема экструдера. [23] |
Между зоной загрузки и выходным концом цилиндра экструдера расположены нагреватели - индукционные или электрические нагреватели сопротивления. Как отмечено выше, мощность нагревателей должна быть достаточной для нагрева расплава полиэтилена до температуры 300 С. Нагреватели расположены по зонам ( 5 - 6 зон) и имеют независимое регулирование температур в каждой зоне. [24]
Образующиеся при их взаимодействии пары ВеС12 и Na попадают в зону с более низкой температурой, что способствует протеканию обратной реакции с выделением металлического Be. Процесс проводится в стальной, выложенной Mo-листом трубе, помещенной в кварцевую. Кварцевая труба снабжена трехсекционной обмоткой, обеспечивающей независимое регулирование температуры в зонах стальной трубы: в испарителе, где помещается лодочка с NaCl; в реакторе ( зона контакта NaCl с техническим Be); в конденсаторе, где выделяется металлический Be. Из исходного технического металла с содержанием 94 % Be был получен бериллий, в котором обнаружено 0 07 % Fe, 0 01 % Al, Mg, Mo и переменное количество марганца ( 0 1 - 0 3 %), связанное с наличием его в материале реактора. [25]
При распылении с геттерированием [23, 24], прежде чем начинается образование пленки за счет катодного распыления, из газа за счет реактивного распыления удаляются ( геттерируются) химически активные составляющие. Такой метод дает пленки очень высокой чистоты. В типичной установке для напыления с геттерированием в системе кроме обычной подложки, анода, имеется второй анод. Этот анод имеет форму экрана, окружающего катод и подложку. Сначала подложку закрывают заслонкой, чтобы предотвратить осаждение пленки, и все химически активные газы внутри экрана удаляют за счет поглощения в металле, распыленном из катода и осевшем на стенках сосуда. В результате этого давление химически активных газов в системе можно уменьшить до 10 - 1С мм рт. ст. Чтобы достичь такого давления в обычной системе, требуются сложные насосы и длительное обезгаживание. После геттерирования заслонку отводят и катод распыляют на подложку. Выделение газов из стенок сосуда сдерживается напыленными слоями металлических соединений. Экран делают плотно прилегающим к катоду и аноду, так что диффузия примесей из остальной части системы затруднена. Сначала систему откачивают до - 10 - 6 мм рт. ст. и при температуре приблизительно на 50 выше температуры осаждения производят обезгаживание подложки. Вообще говоря, необходимо независимое регулирование температуры подложки. В качестве газа обычно используют Аг, и реактивного распыления в течение 15 - 30 мин обычно достаточно, чтобы очистить атмосферу. Стойрер и Хозер [24] на стадии разложения использовали давление Аг в интервале ( 31 - 4 - 185) 10 - 3 мм рт. ст. До сих пор специального упора на выращивание монокристаллов не делалось, и это потребует, вероятно, более высоких температур подложки и применения монокристальных подложек. Распыление с геттерированием дает возможность изучать механизмы роста кристаллов в сверхчистых условиях, а также получать сверхчистые пленки. [26]