Значение - толщина - пленка
Cтраница 3
На движение кольцевого слоя жидкости влияет значительное количество факторов, которые довольно трудно учесть. Между тем значение толщины пленки весьма важно для расчетов тепловых режимов пленочных выпарных аппаратов. В первом приближении можно использовать результаты исследований, проведенные а моделях течения ( вдувание воздуха в жидкость), результаты исследований для случаев массообмена в трубчатых и колонных пленочных аппаратах, когда происходит взаимодействие между пленкой жидкости и потоком газа. [31]
Капиллярная модель позволяет также количественно оценить толщину пленки связанной воды по данным лабораторных исследований коллекторских свойств. В соответствии со значениями толщины пленки связанной воды породы могут быть разделены по степени гидрофильности на три класса: гидрофильные, частично гидрофобные, гидрофобные коллекторы. [32]
Уравнения ( 2) и ( 3) служат для определения величины расклинивающего давления П в пленке. Необходимое для получения изотерм значение толщины пленки определяется путем измерений интенсивности отраженного пленкой света, а также эллипсометри-чески, взвешиванием на пьезокварце, методом размазывания или по поглощению излучения. [33]
Допустимый разброс значений толщины пленок ( разнотолщин-ность) устанавливается в отдельности на каждый вид пленок в зависимости от их назначений и определяется соответствующими ГОСТ или ТУ. В большинстве случаев разброс значений толщины пленок должен укладываться в 10 % от номинала. [34]
Ошибочно вычислив размеры кристаллов железа, Винкель и Хауль дали неверное значение толщины пленки окиси в 9 А. Оказывается, что эта величина должна быть увеличена вдвое. [35]
Для исследования вопроса о механизме окисления металлов при комнатной температуре большое значение имеет установление того факта, что на поверхности некоторых активных металлов ( Al, Fe, Cr, Ni и др.) в указанных условиях возникает устойчивая окисная пленка, толщина которой, в зависимости от металла, не превышает 20 - 50 А. По отношению к железу существование окисной пленки предельной толщины было показано А. А. Кочетковым [30], хотя ему не удалось установить значение толщины пленки. [36]
Для различных типов масел и жиров существуют предельные толщины пленок бпр. При значениях толщин пленок ниже предельных по ним невозможно распространение горения или детонации. [38]
Существенное влияние на течение жидкой пленки и массоперенос в ней оказывают динамические воздействия со стороны газовой фазы. В [251] рассмотрен массоперенос при ламинарном течении по плоской вертикальной стенке тонкой пленки вязкой жидкости, свободная поверхность которой контактирует с ламинарным или турбулентным газовым потоком. Найдены области значений толщины пленки, при которых имеет место только турбулентный или только молекулярный перенос. В [252] экспериментально исследован массоперенос в газовую фазу из жидкой пленки, стекающей по гладкой поверхности. Получены уравнения для расчета коэффициента массопередачи для псевдоламинарного, переходного и турбулентного режимов течения пленки. Найдено, что граница турбулентной области соответствует значению Re 1080, отличающемуся от ранее известных результатов. [39]
 |
Изменение продольного у и поперечного V / коэффициентов тензочувстви. [40] |
Было обнаружено, что их величина при комнатной температуре зависит от используемой подложки и что, в общем, изменение ус толщиной пленки имеет вид, показанный на рис. 16, с ярко выраженным максимумом при толщинах в области 1000 А. При повышении или понижении температуры общая форма этой кривой не изменялась, но при 80 К значения толщины пленки, при которой наблюдался максимум V, и величина у в максимуме увеличивались примерно вдвое по сравнению со значениями при комнатной температуре. [41]
Кроме того, электрические параметры тонкопленочных элементов, при прочих равных условиях, зависят от толщины пленочных слоев. Поэтому-для получения лучшей воспроизводимости свойств микросхем при нанесении тонкопленочных слоев обычно контролируют следующие параметры: остаточное давление в рабочей камере, температуру подложки, толщину и скорость напыления. Если первые два параметра можно измерять с необходимой степенью точности хорошо известными методами и приборами, то измерение толщины и скорости нанесения пленки связано с целым рядом трудностей. Это объясняется тем, что в производстве тонкопленочных микросхем используют различные методы нанесения пленок; применяют большое количество разнообразных по своему химическому составу испаряемых материалов. При этом необходим широкий диапазон значений толщин пленок и скорости их напыления, что в свою очередь вызывает применение методов измерения, основанных на различных физических принципах. [42]
Эти контакты должны быть изготовлены предварительно или отдельным осаждением металлической пленки, или нанесением металлической пасты с последующим ее вжиганием. К датчику подсоединяется пара металлических зондов для снятия зависимости тока от напряжения внутри вакуумной системы. Однако, несмотря на легкость измерения, такой метод измерения и контроля толщины металлических пленок имеет свои недостатки. Они связаны с тем, что при начальных стадиях роста пленка состоит из зародышей и плохо связанных металлических островков ( см. гл. Даже когда пленка становится сплошной, она имеет область толщин, где наблюдается изменение удельного сопротивления вследствие уменьшения поверхностного рассеяния электронов ( см. гл. Более того, при осаждении первых нескольких сотен ангстрем зависимость сопротивления пленки от толщины подвержена влиянию величины приложенного электрического поля ( см. рис. 18 гл. Однако эта величина в значительной мере зависит от давления остаточных газов, скорости осаждения и температуры подложки. Поэтому значения толщин пленок, полученные из измерений сопротивления, редко бывают точными. Учитывая эти неопределенности, метод измерения сопротивления используют главным образом для контроля и управления процессом производства пленочных резисторов. В этом случае толщина пленки и постоянство удельного сопротивления имеют второстепенное значение. При фиксированном отношении l / w для данного датчика по измерениям тока и напряжения может быть определено поверхностное сопротивление, и необходимая величина Rs может быть получена безотносительно к изменению р в пленке, поскольку эти изменения можно компенсировать за счет ее толщины. В простейшем виде сопротивление пленки вызывает разбаланс моста и регистрируется самописцем. Когда сопротивление достигает заданной величины, мост балансируется и включается питание соленоида, управляющего заслонкой. Поскольку в процессе осаждения сопротивление датчика уменьшается на много порядков, то соответственно меняется и чувствительность мостовой схемы. Для устранения этого недостатка Беннет и Фланаган [332] использовали в плече сравнения переменное сопротивление, величина которого автоматически уменьшалась ступенями при переходе через точку баланса. [43]
Страницы: 1 2 3