Cтраница 5
При плазмоионном распылении мишень из распыляемого материала находится в сильно ионизированной плазме под отрицательным потенциалом и играет роль катода или лен-гмюровского зонда. Положительные ионы под действием электрического поля вытягиваются и бомбардируют мишень, вызывая ее распыление. [61]