Cтраница 4
Возможность относительно легкой фокусировки пучка электронов обеспечивает и высокую локальность по поверхности. Так, при достаточной яркости пучка диаметр зонда в десятки нанометров дает для тонких пленок тот же порядок локальности. В менее благоприятных случаях она составляет несколько микрометров, и продолжающееся совершенствование электронно-зондовой техники сдвигает эту границу в субмикронную область. Чувствительность электронно-зондовых методов к следам элементов является одной из наиболее высоких среди аналитических методов. При стандартной локальности порядка долей кубического микрометра предел обнаружения метода доходит до Ю-16-10 17 г, что позволяет определять ничтожные количества веществ. Характерной особенностью электронного зондирования является его экспрессность. Информация выдается непосредственно в ходе эксперимента, причем ее можно одновременно наблюдать на дисплее и фиксировать на записывающих устройствах. Совершенствование фототехники и применение компьютеров позволяет получать разнообразные сведения об объекте за короткий отрезок времени. Хотя взаимодействие электронного зонда с веществом может изменять электронную структуру последнего, несоизмеримость общей площади объекта и зоны облучения позволяет справедливо полагать, что в целом объект сохраняется неразрушенным и пригодным для дальнейших исследований. [46]