Cтраница 3
Наконец, существует проблема производства больших однородных структур. Даже у пиролитических материалов, состоящих из одного элемента, структура и свойства часто изменяются по длине покрытия. Для соединений с широкими стехиометрическими пределами, а также для смесей проблема значительно усложняется. Причина проста - осаждение является кинетическим процессом, и различные газообразные вещества обычно имеют различное число столкновений со стенкой. Следовательно, состав осаждающегося вещества изменяется по мере прохождения газа через систему. Проблема может быть решена, конечно, повышением скорости газа, однако при этом уменьшается число столкновений. [31]