Cтраница 4
Хамфрис и Кетлин [136] пришли к выводу о влиянии поверхностных уровней на свойства эпитаксиальньтх пленок германия путем косвенных наблюдений. Кроме того, изменение плотности таких структурных несовершенств, как единичные вакансии, скопления вакансий, границы зерен, двойниковые прослойки, дефекты упаковки, плотность которых варьировалась в значительных пределах, не изменяет первоначальный уровень концентрации акцепторов. Концентрация последних ( - 1018 см-3 по Хамфрису и Кетлину [136]) не зависит также и от остаточного давления, в котором препарировались пленки. Из этих наблюдений авторы [136, 226] делают вывод о том, что свойства конденсатов германия - высокая концентрация акцепторов и их низкая подвижность - являются результатом влияния слоя поверхностного заряда. [46]
Универсальность метода вакуумной металлизации позволяет наносить на полосовую сталь любые металлы, пригодные в качестве защитных, в условиях высокой чистоты. Так как металл в испарителе непрерывно работающей установки все время находится в расплавленном состоянии, он очищается от газов и летучих загрязнений, что повышает чистоту покрытий. Уменьшению загрязнения покрытий способствует пониженное давление в вакуумной камере. В настоящее время в промышленных установках достигнут вакуум порядка 10 - 2 - 10 - 3 Па. Если считать, что содержание газов в покрытии не должно превышать соотношения 1: 2000, что соответствует обычному содержанию газа в металлах, то скорость конденсации паров металла должна быть порядка 25 мкм / с. Для легколетучего цинка достигнуты еще более высокие скорости конденсации, причем вакуум при нанесении цинковых покрытий может быть снижен до 1 - 0 1 Па без существенного ухудшения свойств конденсата. [47]