Cтраница 2
Уменьшение V указывает на то, что существенную роль начинают играть процессы, способствующие ионизации или уменьшающие потери, либо и те и другие вместе. Что касается тока г, то он определяется как свойствами разряда, так и приложенным напряжением и параметрами внешней цепи. [16]
Этот интерес связан с тем, что наличие частиц в технологической плазме не только приводит к загрязнению поверхности полупроводникового элемента и тем самым к увеличению выхода дефектных элементов, но и возмущает плазму, зачастую непредсказуемым образом. Уменьшение или предотвращение этих негативных эффектов невозможно без понимания процессов образования и роста конденсированных частиц в газоразрядной плазме, механизма их переноса и влияния на свойства разряда. [18]
Такого рода весьма сильные несамостоятельные разряды обладают следующей особенностью: при данном напряжении сила электрического тока, проходящего через газ, пропорциональна числу первичных ионов, создаваемых внешним ионизатором в единицу времени. Отношение силы такого, как говорят, газоусиленного тока к силе тока насыщения, создаваемого первичной ионизацией, может достигать сотен и тысяч. Это свойство разряда используется при создании измерителей ионизации - пропорциональных усилителей ( см. стр. [19]
При этом напряжение на приборе составляет 60 - 150 в при токах от единиц до десятков миллиампер. Характерной особенностью коронного и нормального тлеющего разрядов является наличие участка, на котором напряжение на приборе почти не меняется при изменении тока. Это свойство разрядов используется для стабилизации напряжения в стабилитронах тлеющего и коронного разрядов. [20]
Такого рода весьма сильные несамостоятельные разряды обладают следующей особенностью: при данном напряжении сила электрического тока, проходящего через газ, пропорциональна числу первичных ионов, создаваемых внешним ионизатором в единицу времени. Отношение силы такого, как говорят, газоусиленного тока к силе тока насыщения, создаваемого первичной ионизацией, может достигать сотен и тысяч. Это свойство разряда используется при создании измерителей ионизации - пропорциональных усилителей ( см. стр. [21]
Выше на основании теории Таунсенда был произведен расчет условий зажигания разряда, но при этом остались без внимания искажения поля объемными зарядами. Стационарные ( установившиеся) формы разряда, основными видами которых являются тлеющий и дуговой разряды, отличаются тем, что электрическое поле в разрядном промежутке определяется в основном величиной и расположением объемных зарядов и совершенно не похоже на первоначальное пбле. В этом параграфе мы рассмотрим свойства установившегося разряда, не вдаваясь в подробности условий перехода пробоя в длительный разряд, которые очень сложны. [22]
Условия возникновения разряда в разных кристаллах и разных точках могут быть различными. Например, у некоторых кристаллов для возникновения истечений достаточно уже слабого нагревания ( от выделения тепла Джоуля в R) или по некоторым причинам сопротивление в точке контакта сильнее нагревается. В полупрозрачных кристаллах карборунда можно даже наблюдать слабое ( в месте контакта) зеленоватое свечение при токе через контакт всего 0.4 ма, часто оно бывает ветвистым. У цинкита же во время генерирования даже сильных колебаний никакого свечения не наблюдается, а с увеличением тока до со 9 ма, когда колебания уже прекращаются, - при спекании ( см. рис. 15) - появляется слабое малиновое свечение. Это еще раз доказывает, что при работе цинкитного детектора-генератора в обычных условиях электроды не накалены. Выпрямляющее же действие детекторов легко объясняется соответственными свойствами электронных разрядов. [23]