Cтраница 2
![]() |
Расположение элек - шлифами. На верхнем шлифе монтируются подложки, на нижнем - тигель с испаряемым веществом. Та. [16] |
На рис. 3 - 65 показано расположение электродов на подложке. Электроды 2 и 4 предназначены для измерения напряжения Холла, а электроды / и 3 - для пропускания тока через образец. Электроды обычно изготавливаются путем вжигания серебряной пасты или же путем термического напыления в вакууме. [17]
Термообработка определяется типом связующего вещества и видом карбида кремния. Существенную роль в ряде случаев играет и газовая среда в печи. Электроды наносятся методом горячего шоопирования алюминием или керамическим вжиганием серебряной пасты. [18]
Они обладают сопротивлением 0 1 - 1 0 ом на квадрат площади и оказывают существенное влияние на характеристики микросхемы. Контактные площадки напыляются толщиной 100 - 150 им. Одним из способов нанесения электрических контактных площадок является метод вжигания серебряной пасты. [19]
![]() |
Составы для металлизации керамических материалов. [20] |
Нанесение серебряной пасты на керамические изделия производится вручную кисточкой, пульверизатором, окунанием, а в массовом производстве - шелкографией. Обжиг производится при температуре 750 - 850 СС в муфельных или проходных печах в воздушной среде. В процессе обжига покрытия в интервале температур 200 - 400 С, т.е. при выгорании органической связки, подъем температуры должен быть замедленным во избежание вспучивания покрытия и образования трещин я. Режим вжигания серебряной пасты устанавливается экспериментально. [21]