Взаимодействие - электронный пучок
Cтраница 3
Формирование изображений электронно-оптическими методами происходит за счет различных физических явлений, протекающих при взаимодействии электронного пучка с исследуемым объектом. Специфика этих явлений отражается в определенных особенностях изображений, которые можно использовать для получения информации о топографии образца. [31]
Этот метод основан на анализе по энергиям характеристического рентгеновского излучения, возникающего в результате взаимодействия электронного пучка с границей зерна, установленной путем наклона фольги в положение, параллельное направлению пучка. Показано [38], что такой анализ в состоянии давать удовлетворительные количественные оценки зернограничной сегрегации ( например, фосфора и олова) при развитии обратимой отпускной хрупкости сплава Fe н - 3 % Ni. Однако применение этого метода ограничено его невысокой чувствительностью из-за разбавления сегрегации, обусловленного тем, что диаметр зондирующего электронного пучка ( - 10 нм), как правило, значительно шире приграничной зоны, в которой сосредоточена сегрегация - 1 нм), Кроме того, процесс приготовления фольги ( электрополирование, травление) может изменить содержание анализируемого элемента на исследуемой границе. [32]
Итак, при воздействии электронного луча на металл могут возникать колебательные неустойчивости, обусловленные взаимодействием исходного электронного пучка ( плотность электронов щ, скорость электронов ui, разброс по скростям AUI, плотность электрического тока, энергия электронов Wi) с приповерхностной плазмой ( плотность электронов пе, тепловая скорость электронов ve, температура электронов Те, температура ионов 7) - Для оцено к примем, что приповерхностная плазма находится в основном в объеме, представляющем собой цилиндр радиусом основания R и высотой S, где S - ЮЛ. Влияние вторичных электронов в зависимости от их энергии и распределения по скоростям может проявляться двояко. Те их них, которые имеют температуру, близкую к температуре электронов плазмы, и косинусоидальный закон распределения по скоростям, будут давать вклад в генерацию электронов приповерхностной плазмы, а другие, которые можно представить как поток электронов с выделенной скоростью U2, будут составлять вторичный пучок электронов. Совершенно четкой границы между этими двумя группами электронов, конечно, не существует. [33]
 |
Лампа бегущей волны со спиралью. [34] |
Под лампами с бегущей волной здесь подразумеваются такие устройства, в которых усиление происходит за счет взаимодействия электронного пучка с основной пространственной гармоникой периодической замедляющей структуры. [35]
Физические процессы при взаимодействии двух электронных пучков с разными средними скоростями аналогичны явлениям, происходящим при взаимодействии электронного пучка с электромагнитной волной, разобранным в § 10.4. В случае взаимодействия двух электронных пучков поле электромагнитной волны в линии заменяется толем ( пространственного заряда. Электроны каждого из мучков подвергаются действию поля пространственного заряда другого пучка; при этом электроны тормозятся или ускоряются подобно тому, как это происходит IB электрическом пол е - волны, распространяющейся вдоль линии замедления. [36]
Метод наблюдения дислокаций с помощью электронного микроскопа, применяемый очень широко, основан на эффекте дислокационного контраста, возникающего из-за взаимодействия электронного пучка со смещенными атомами в поле напряжений вокруг дефекта решетки. Вследствие интерференции между проходящими и дифрагированным электронными пучками в электронном микроскопе удается увидеть изображение линий дислокаций, дефектов упаковки, дислокационных рядов и стенок. [37]
Для получения более точных соотношений влияния столкновительных процессов и магнитного поля пучка ниже приводятся критерии сильноточности, более детально учитывающие закономерности взаимодействия электронного пучка с веществом. [38]
Принципиально важным моментом при использовании электрон - пучковых технологий является попутное образование в значительных количествах озона ( О3) в результате взаимодействия электронного пучка с воздухом при атмосферном давлении. Известно, что озон является оченьактивным окислителем. Поэтому в настоящее время озон сам по себе все шире применяется для очистки и стерилизации воды, приходя постепенно на смену используемому для этих целей хлору. [39]
Важным является получение информации о составе и кристаллической структуре изучаемых образцов, что достигается микродифракционными исследованиями, а также регистрацией рентгеновского излучения, возбуждаемого взаимодействием электронного пучка с образцом. [40]
В реальных замедляющих системах для ЛБВ ( например, типа гребенки, изображенной на рис. 445, б) сетки в пространстве взаимодействия ОТСУТСТВУЮТ и взаимодействие электронного пучка с волной происходит непрерывно на всем расстоянии от пушки ло коллектора. [41]
При использовании электронно-лучевой оптики экспонированию электронным лучом подвергают электронорезисты, способные к перестройке под действием облучения потоком электронов. При взаимодействии электронного пучка с негативным фоторезистом установлено, что разрешающая способность в сильной степени зависит от толщины слоя фоторезиста, и, как правило, минимальная ширина линии, получаемая после проявления, равна толщине пленки фоторезиста плюс диаметр пятна луча. Так, при диаметре пучка 0 3 мкм и толщине резиста 0 1 - 0 2 мкм были нанесены линии шириной 0 4 - 0 5 мкм. [42]
При взаимодействии электронного пучка с материалом электроны в результате торможения теряют свою энергию. Этот процесс сопровождается возбуждением рентгеновского излучения, локализованного в месте взаимодействия электронного пучка с обрабатываемым материалом. Рентгеновские лучи распространяются точно по прямым линиям, не отклоняются электрическими и магнитными полями, проходят сквозь пары металлов с минимальным ослаблением. Испытания рентгеновских датчиков различного типа показали, что они обладают более высокой помехозащищенностью ( по сравнению с КВЭ), что свидетельствует о перспективности их применения. Высокая помехозащищенность рентгеновских датчиков ( РД) связана еще с тем, что они гальванически развязаны от сварочного оборудования и легко экранируются. [43]
Электроны фокусируются в тонкий электронный зонд диаметром менее 10 нм, которым поверхность образца построчно сканируется. При взаимодействии узкого электронного пучка с поверхностью образца он испускает излучение видимого и рентгеновского диапазона, приводящее к обратному рассеянию. [44]
Взаимное влияние на пучок ускоряющего электрического и поперечного магнитного полей приводит к кольцевому движению пучка с постоянной скоростью вблизи замедляющей системы. В ЛОВМ происходит взаимодействие электронного пучка с первой обратной пространственной гармоникой, и при выполнении условий самовозбуждения возникают стационарные колебания, как и в ЛОВО. [45]
Страницы: 1 2 3 4