Взаимодействие - остаточный газ
Cтраница 1
 |
Относительное измерение состава остаточных газов вблизи от поверхности карбида циркония.| Изменения скоростей испарения молибдена в зависимости от давления остаточных газов в приборе. [1] |
Взаимодействие остаточных газов с поверхностью испарения может привести к образованию легколетучих соединений, что является причиной завышенных скоростей испарения [20, 22] и разницы в результатах отдельных авторов на несколько порядков. Влияние поверхностных загрязнений образца в методе Лэнгмюра сказывается в гораздо большей степени, чем в эффу-зионном методе. Таким образом, при изучении процессов испарения методом Лэнгмюра особенно необходим контроль за состоянием поверхности и составом остаточных газов в приборе. [2]
В результате взаимодействия остаточных газов с поверхностью вещества возможно образование как более, так и менее летучих соединений, чем испаряемое вещество, что соответственно приводит или к получению завышенных скоростей испарения вещества или к накоплению на его поверхности экранирующей пленки труднолетучего соединения. [3]
Для понимания и контроля механизмов взаимодействия остаточных газов с процессами роста тонких пленок часто необходимо знать не только общее давление, но и состав атмосферы остаточных газов в системе. Сведения о парциальных давлениях отдельных газов важны также и для распознавания вклада процесса обратного потока паров из насоса, для идентификации источников выделения газа, для выяснения влияния того или иного газа на свойства пленок и для оценки эффективности таких процедур, как прогрев или очистка подложки в тлеющем разряде. [4]
С целью получения глубокого вакуума для минимизации взаимодействия остаточных газов и наращиваемых пленок было предпринято множество исследований и разработок. В результате к настоящему времени имеется обширный набор вакуумных установок и деталей, а также материалов и методов монтажа. В Згой главе будут рассмотрены наиболее широко используемое вакуумное оборудование и установившиеся методы его эксплуатации. Основное внимание при этом уделяется физическим принципам, определяющим свойства деталей и материалов, а также пределы их практического применения. Следует отметить что тщательность рассмотрения некоторых элементов или материалов не всегда пропорциональна их важности и практической значимости. [5]
 |
Зависимость площади растекания от степени вакуумирования. [6] |
Причиной аномалии в изменении температуры начала растекания и площади растекания в зависимости от разрежения в камере пайки является взаимодействие остаточных газов с основным металлом и расплавом припоя. [7]
 |
Температура начала растекания металлов по меди в зависимости от степени вакуумирования.| Площадь растекания металлов. [8] |
Установленная закономерность влияния вакуума на температуру смачивания и интенсивность растекания припоев по основному металлу может быть объяснена своеобразием процесса взаимодействия остаточных газов в камере пайки с основным металлом и расплавом припоя. Известно, что содержащиеся в камере нагрева газы обладают различной, в зависимости от парциального давления, адсорбируемостью на металлах. [9]
С другой стороны, величина давления остаточных газов влияет на надежность и долговечность работы приборов. Долговечность и надежность приборов определяется степенью взаимодействия активных остаточных газов с деталями и оболочкой прибора. [10]
Скорость и интенсивность этих процессов зависит от давления. Поэтому величина давления служит характеристикой степени вакуума с точки зрения взаимодействия остаточных газов с деталями и оболочкой прибора. [11]
Понижение напряжения накала вызывает отравление катода. Вызывается отравление катода взаимодействием остаточных газов, которые имеются в вакууме баллона кинескопа, с чистыми металлами и оксидами, входящими в состав эмиссионного покрытия. [12]
 |
Схематическое изображение источников остаточных газов, выделяемых вакуумными материалами. [13] |
Процессы десорбции, диффузии и проницаемости конструкционных материалов имеют в вакуумной технологии первостепенное значение, поскольку именно они противодействуют откачивающему действию насосов. При отсутствии течей эти процессы вместе с выделением газа из насоса определяют предельное разрежение и состав атмосферы остаточных газов системы. Следовательно, при конструировании вакуумных систем и при анализе возможности взаимодействия остаточных газов с осаждаемыми пленками важно знать свойства материалов, определяющие процессы газоотделения. [14]
Так же, как и диффузионные, геттерные насосы работают во всей области давлений от высокого до сверхвысокого вакуума. Но по сравнению с первыми они имеют преимущество, заключающееся в отсутствии в них какой-либо органики, поскольку для их работы не требуется смазка и не используются никакие другие пары рабочих жидкостей, кроме паров конденсируемого металла. Геттерные насосы требуют предварительной откачки до давлений 10 - 2 - 10 - 4 мм рт. ст., но не для непрерывного поддерживания рабочего режима, а лишь для запуска. Такой форвакуум может быть получен с помощью либо криосорб-ционного, либо вращательного масляного насосов, которые сразу же отключаются по достижении требуемого исходного вакуума. Откачивающее действие геттерных насосов основано на двух типах взаимодействия остаточных газов с металлическими поверхностями, один из которых имеет химическую природу, а другой - электростатическую. Аппараты, использующие одновременно оба эти механизма, называют геттероионными насосами. [15]
Страницы: 1