Система - распыление
Cтраница 4
Методы позволяют наносить самые тугоплавкие и недостаточно стабильные соединения с сохранением их стехиометрического состава, нанесение которых термовакуумными методами невозможно. Находят применение системы с автономными ионными источниками. Системы распыления на постоянном токе используются для нанесения покрытий из проводящих электрический ток материалов, системы высокочастотного распыления - из диэлектриков. [46]
Методы позволяют наносить самые тугоплавкие и недостаточно стабильные соединения с сохранением их стехиометрического состава, нанесение которых термовакуумными методами невозможно. Находят применение системы с автономными ионными источниками. Системы распыления на постоянном токе используются для нанесения покрытий из проводящих электрический ток материалов системы высокочастотного распыления - из диэлектриков. [47]
 |
Двухсекционный стабилизационный пруд. диаграмма поперечного сечения. [48] |
Стабилизационные пруды для отходов являются распространенным методом очистки органических сточных вод там, где имеется достаточная земельная площадь для организации этих прудов. Пруды, через которые проходит поток, обычно классифицируются в соответствии с их бактериальной активностью как аэробные, несистематические ( facultative) или анаэробные. Аэрированные пруды снабжаются кислородом посредством систем распыления или механической аэрации. [49]
При частотах 107 Гц и выше ион аргона на пути из плазмы к мишени не может пройти всю ионную оболочку за один период, и на короткое время в каждый период он оказывается в нейт-ральной плазме. Таким образом, этот ион в течение следующих один за другим периодов многократно ускоряется и никогда не испытывает замедления, поскольку в электронной оболочке с ее высокой электропровод-костью не могут поддерживаться высокие градиенты электрического поля. Для оценки наиболее приемлемого частотного диапазона в трехэлект-родной системе ВЧ распыления руководствуются следующими соображениями. Если внешний или внутренний конденсатор имеет очень малую емкость, то он в результате ионной бомбардировки мишени очень быстро теряет свой заряд. Так, при емкости такого конденсатора 10 пФ / см2 и плотности ионного тока 10 мА / см2 скорость изменения напряжения на конденсаторе составляет 109 В / с. Если изменения напряжения иа конденсатора за период не превышают 100 В, то следует работать на частотах выше 10 МГц. [50]
Появление отрицательного смещения на мишени приводит к изменению структуры плазмы, к расслоению ее объемного заряда и скапливанию положительных ионов в слоях плазмы вблизи мишени. Это обстоятельство увеличивает ионный ток на мишень и повышает эффективность ее распыления. При некоторой достаточно высокой частоте ( несколько мегагерц), зависящей от величины переменного напряжения, свойств материала мишени и конструкции системы распыления, устанавливается динамическое равновесие между потоками ионов и электронов, попадающих на мишень, в различные полупериоды переменного напряжения. В результате уровень отрицательного смещения стабилизируется. [51]
Однако на практике этот конденсатор имеет довольно низкую добротность, и, как указали Дэвиде и Майссел [54], если экран расположен очень близко к ВЧ электроду ( что является обычным для систем распыления на постоянном токе), могут иметь место большие потери мощности. Хотя ту же роль играет изолированный электрод мишени, использование внешнего конденсатора позволяет исключить всякую неопределенность, ввязанную с утечками сквозь диэлектрик мишени и по ее краям. [52]
Помимо освоения новых материалов приходилось находу осваивать новые виды оборудования, ранее не применявшиеся в Советском Союзе: диализные ванны для нанесения электрофорезных грунтов, установку Рансбург для электростатического нанесения эпоксидного грунта, систему автоматического распыления эмалей с помощью установки Швайцер. [53]
Рассмотренная нами картина, конечно, очень упрощенная, предназначена для того, чтобы помочь читателю понять основные явления, происходящие при ионном ( особенно при высокочастотном) распылении. При рассмотрении отдельных деталей процессов остается большой простор для дискуссий, измерений и уточнений. Например, мы не можем согласиться с мнением Тумбса [40], который, в отличие от Холлэнда и др. [41], считает, что в вопросе о том, до какого потенциала относительно плазмы заряжается подложка, нет разницы между одноэлектродной и симметричной системами ВЧ распыления. В одноэлектродных системах заземленный держатель подложек является неотъемлемой частью ВЧ схемы и увеличивает площадь анода. В симметричных системах подложка может иметь плавающий потенциал. Если подложка не будет находиться в области ионной оболочки мишени, ее плавающий потенциал должен быть близок к потенциалу плазмы или быть несколько более отрицательным, точно так же, как плавающий потенциал электрода, помещенного в плазму постоянного тока. Хотя температура электронов в ВЧ плазме низкого давления и весьма высока, однако не следует ожидать, что этот отрицательный потенциал намного превысит порог распыления, если только вторичные электроны, выбиваемые из мишени, не будут попадать на подложку и изменять ее заряд. [54]
Печи для сжигания жидких отходов наиболее удобны в эксплуатации и требуют минимальных затрат рабочей силы. Иногда вместе с жидкими отходами в печах такого типа сжигают некоторые виды твердых отходов. С этой целью их нагревают до температуры плавления, перекачивают насосом и распыляют в горелках печи. Поскольку жидкие отходы сжигаются в основном в горелках, предназначенных для суспензий, полное и эффективное сгорание достигается в том случае, когда отходы равномерно распределены или распылены и перемешаны с кислородом. Отходы распыляют обычно механическим способом с помощью вращающихся колпачков, либо систем распыления под давлением, либо через газовые форсунки, использующие сжатый воздух или пар высокого давления. Для достижения необходимой вязкости отходы нагревают, либо получают из них одно - или двухфазные эмульсии, либо растворяют в жидкости с низким показателем вязкости. Горелку устанавливают на одном конце футерованной огнеупором камеры сгорания, а отходящие газы из противоположного конца камеры выводят в систему очистки. [55]
При горении топлива, несомненно, большое значение имеет химическая природа топлива, определяющая воспламенение его паров при встрече с фронтом пламени. Однако и здесь большое значение имеют физические параметры: летучесть топлива, распыление топлива и смесеобразование, кото) ые при определенных условиях смогут иметь большее значение, чем химические свойства компонентов топлива. В целом весь процесс лимитирует та стадия, которая протекаете меньшей относительной скоростью. Запуск двигателя определяется главным образом физнко-ме а ничеен н ми факторами, а именно летучестью топлива и степенью его распыления. Последняя зависит от вязкости и поверхностного натяжения топлива, а также от системы распыления ( типа форсунок) п давления по дачи. При вязкости более 15 - 25 ест уже не обеспечивается достаточно хорошее распыление топлива в двигателе. По техническим условиям па реактивные топлива допускается вязкость при низких температурах до 25 ест. Пспзппы обеспечивают хорошее распыление при любых температурах. [56]
Страницы: 1 2 3 4